宁夏创格新材料科技有限公司李飞获国家专利权
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龙图腾网获悉宁夏创格新材料科技有限公司申请的专利陶瓷静电吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308979U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422698822.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型陶瓷静电吸盘是由李飞;石义;李钰;滕飞设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本陶瓷静电吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了陶瓷静电吸盘，涉及半导体加工技术领域，其包括：吸盘本体，所述吸盘本体的下端面设置有电介质吸附层，所述电介质吸附层的上端面与吸盘本体之间设置有电极层，所述吸盘本体的内壁设置有容纳槽，所述限位槽，所述吸盘本体的内壁固定连接有框架，所述框架的外侧壁固定连接有多个加强架，多个所述加强架的外侧壁适配于吸盘本体的内壁，通过上述结构，能够使陶瓷静电吸盘在不直接接触工件的情况下实现稳定吸附，适用于精密加工、半导体制造等对工件表面要求较高的场合。
本实用新型陶瓷静电吸盘在权利要求书中公布了：1.陶瓷静电吸盘，包括：吸盘本体（1），其特征在于，所述吸盘本体（1）的下端面设置有电介质吸附层（2），所述电介质吸附层（2）的上端面与吸盘本体（1）之间设置有电极层（3）； 所述吸盘本体（1）的内壁设置有容纳槽（101），所述吸盘本体（1）的内壁固定连接有框架（102），所述框架（102）的外侧壁固定连接有多个加强架（103），多个所述加强架（103）的外侧壁适配于吸盘本体（1）的内壁。
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