芯恩(青岛)集成电路有限公司张琦获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利电镀化学层添加剂的上料装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223304160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422705030.4,技术领域涉及:B67D7/16;该实用新型电镀化学层添加剂的上料装置是由张琦;魏晓平设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本电镀化学层添加剂的上料装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种电镀化学层添加剂的上料装置,涉及半导体制造技术领域。包括支撑架、液料桶、入料管和液体泵;所述液料设置在所述支撑架上,用于放置添加剂;所述入料管一端伸入所述液料桶内,所述入料管的另一端用于与电镀机台的储存桶连接;所述液体泵设置在所述入料管上,用于将所述液料桶中的添加剂抽入所述储存桶内。本申请实现了对电镀机台的储存桶自动上料,降低了操作人员接触危险化学品的风险,提高了工作过程中的安全性。
本实用新型电镀化学层添加剂的上料装置在权利要求书中公布了:1.一种电镀化学层添加剂的上料装置,其特征在于,包括支撑架、液料桶、入料管和液体泵; 所述液料桶设置在所述支撑架上,用于放置添加剂; 所述入料管一端伸入所述液料桶内,所述入料管的另一端用于与电镀机台的储存桶连接; 所述液体泵设置在所述入料管上,用于将所述液料桶中的添加剂抽入所述储存桶内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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