苏州中芯微纳传感科技有限公司李中获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中芯微纳传感科技有限公司申请的专利方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223300572U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422700991.6,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备是由李中设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,包括超声波清洗机,所述超声波清洗机上开设有清洗槽,所述清洗槽的内部设置有放置篮,所述放置篮的内部放置有固定吹干机构,所述固定吹干机构包括底板,所述底板顶端的两侧均固定有支撑块,两个支撑块的顶端均设置有两个固定管,两个支撑块相对的一侧均开设有风槽,可以通过辅助把手将下压板提拉上升,并且将单晶氧化铝衬底放置于底板上,松开下压板,下压板自动对单晶氧化铝衬底进行下压固定,当固定吹干机构放置于清洗液中时,超声波清洗不会使单晶氧化铝衬底产生翻滚,导致单晶氧化铝衬底之间相互碰撞造成损坏。
本实用新型方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备在权利要求书中公布了:1.一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:包括超声波清洗机1,所述超声波清洗机1上开设有清洗槽2,所述清洗槽2的内部设置有放置篮8,所述放置篮8的内部放置有固定吹干机构;所述固定吹干机构包括底板10,所述底板10顶端的两侧均固定有支撑块11,两个支撑块11的顶端均设置有两个固定管12,两个支撑块11相对的一侧均开设有风槽14,两个固定管12的底端均和对应的风槽14连通,所述固定管12上滑动设置有下压板13,所述超声波清洗机1上固定有输入超净合成空气的气盒3,所述气盒3的一侧设置有软管5,所述软管5的一端和对应的固定管12连接。
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