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常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司冯磊获国家专利权

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龙图腾网获悉常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种CVD反应炉炉体降温结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223304539U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422711229.8,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种CVD反应炉炉体降温结构是由冯磊设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种CVD反应炉炉体降温结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种CVD反应炉炉体降温结构,尤其涉及CVD反应炉技术领域,包括反应炉下炉体和反应炉上炉体,该CVD反应炉炉体降温结构,在使用时,将冷却液管道与进水阀连接,然后打开进水阀,使得冷却液流入冷却管,通过冷却管对壳体进行冷却降温,然后打开排水阀,从而将升温后的冷却液排出,这样就可以更好的对反应炉下炉体和反应炉上炉体进行降温,通过启动电机,电机正转,带动电机一端的齿轮转动,通过齿轮与齿条啮合连接,从而传动齿条在限位架中滑动,这样就可以升起反应炉上炉体,在升起反应炉上炉体时,限位块与滑板滑动贯穿连接,这样可以保证反应炉上炉体升降稳定,起到限位的效果,而电机反转,就可以关闭反应炉上炉体。

本实用新型一种CVD反应炉炉体降温结构在权利要求书中公布了:1.一种CVD反应炉炉体降温结构,包括反应炉下炉体1和反应炉上炉体2,其特征在于:所述反应炉上炉体2设置在反应炉下炉体1顶部,所述反应炉下炉体1和反应炉上炉体2内侧均开设有固定槽3,所述反应炉下炉体1和反应炉上炉体2的固定槽3内侧均设置有冷却结构4,所述冷却结构4包括冷却管401、连通管402、第一连接管403、进水阀404、第二连接管405和排水阀406,所述冷却管401设置在固定槽3的内腔,所述冷却管401设置有多个,多个所述冷却管401一端通过连通管402相连通,所述连通管402的一端连接有第一连接管403,所述第一连接管403的一端与进水阀404相连接,最右侧所述冷却管401外侧与第二连接管405相连通,所述第二连接管405的一端与排水阀406相连接,所述反应炉下炉体1和反应炉上炉体2外侧设置有开关机构5。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司,其通讯地址为:213100 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区龙惠路7号D栋北一楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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