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苏州艾斯达克智能科技有限公司沙伟中获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州艾斯达克智能科技有限公司申请的专利存取半导体晶圆片存储盒的机械手装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223308968U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422730454.6,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型存取半导体晶圆片存储盒的机械手装置是由沙伟中设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

存取半导体晶圆片存储盒的机械手装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种用于存取半导体晶圆片存储盒的机械手装置,结构稳定且操作精确。该装置包括底座、双手臂机械手、旋转轴、中空旋转平台、前后移动组件、直线导轨和牙叉。底座为水平长条形结构,通过支撑脚保持平稳,并具备减震功能。双手臂机械手垂直安装在底座上,具有高度差设计,以适应不同高度的晶圆片存储盒操作需求。旋转轴穿过中空旋转平台,使双手臂机械手具备灵活的旋转功能。前后移动组件与直线导轨配合,确保水平滑动的顺畅性。牙叉安装在前后移动组件上,设计有凸起以适配晶圆盒底部的定位孔,确保在转运过程中晶圆盒的稳定和精确定位。该装置适用于半导体晶圆片的高效存取操作,具有结构紧凑、定位精准、操作高效的优点。

本实用新型存取半导体晶圆片存储盒的机械手装置在权利要求书中公布了:1.一种存取半导体晶圆片存储盒的机械手装置,其特征在于,包括机械手底座、固定支架、旋转轴、中空旋转平台、前后移动组件、安装螺钉、直线导轨和牙叉; 其中,所述机械手底座为水平长条形结构,底部设置若干支撑脚,用于支撑整个机械手结构; 所述固定支架垂直安装在机械手底座的上表面,包括两个平行布置的手臂,两个手臂的轴心沿水平方向对称设置; 所述固定支架的手臂在安装时形成高度差,以适应不同高度的晶圆片存储盒操作需求; 所述中空旋转平台呈环形包围旋转轴,并通过连接件与固定支架相连; 所述前后移动组件设置在直线导轨上,通过直线导轨沿水平方向滑动,所述安装螺钉垂直穿过前后移动组件并将其固定在牙叉上; 所述牙叉与所述前后移动组件固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州艾斯达克智能科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州高新区泰山路2号和枫产业园中试创业基地A栋101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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