瀚积智能科技(上海)有限公司王荣辉获国家专利权
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龙图腾网获悉瀚积智能科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆无接触转运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308967U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422723762.6，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆无接触转运装置是由王荣辉设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆无接触转运装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆无接触转运装置，包括托盘输送装置、晶圆输送装置、机械臂和定位圈；所述机械臂的工作端连接有第一吸盘，用于吸取晶圆片并使其悬浮在第一吸盘的顶部；所述晶圆输送装置通过升降装置连接第二吸盘，第二吸盘用于吸附第一吸盘上的晶圆片并悬浮在第二吸盘的底部；所述托盘输送装置连接吸附盘，吸附盘用于吸取托盘；所述定位圈与旋转移动装置连接，旋转移动装置用于将定位圈移动至托盘的顶部，对晶圆片在托盘的放置位置进行导向；该晶圆无接触转运装置通过吸盘、机械臂和移动装置实现晶圆片的无接触移动，避免晶圆片在转移过程中受到污染，提高晶圆片的良率，降低晶圆片的生成成本。
本实用新型一种晶圆无接触转运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆无接触转运装置，其特征在于，包括托盘仓、托盘输送装置、晶圆输送装置、机械臂、晶圆存储装置和定位圈； 所述托盘仓用于存托盘或带有晶圆片的托盘，多个托盘自上而下间隔设置在存托盘中； 所述晶圆存储装置用于晶圆片，多个晶圆片自上而下间隔设置； 所述机械臂的工作端连接有第一吸盘，用于吸取晶圆存储装置中的晶圆片，并使晶圆片悬浮在第一吸盘的顶部； 所述晶圆输送装置通过升降装置连接第二吸盘，第二吸盘用于吸附第一吸盘上的晶圆片并悬浮在第二吸盘的底部； 所述托盘输送装置包括旋转装置、垂直移动装置和水平移动装置，垂直移动装置与旋转装置连接，水平移动装置与垂直移动装置连接，水平移动装置的移动端连接吸附盘，吸附盘用于吸取托盘； 所述定位圈与旋转移动装置连接，旋转移动装置用于将定位圈移动至托盘的顶部，对晶圆片在托盘的放置位置进行导向。
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