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龙图腾网获悉江苏纳沛斯半导体有限公司申请的专利一种晶圆盒的检测设备及晶圆盒的检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381316B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411590088.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆盒的检测设备及晶圆盒的检测系统是由李锋;杨雪松;王浩源;丁超设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盒的检测设备及晶圆盒的检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆盒的检测设备及晶圆盒的检测系统，包括进料传送带、出料传送带、回料传送带、摆轮分拣机和检测传动带，所述检测传动带侧边设有回转机构，该回转机构上通过支撑架安装有同步检测机构；所述同步检测机构包括有通过相互垂直的水平移动结构和竖直移动结构安装的吊架，该吊架的底端安装着检测盒，所述检测盒的两侧对称设有平行的横杆，每一根横杆上沿长度方向通过若干检测杆均匀安装有若干激光位移传感器。本发明设置同步检测机构在回转机构的带动下保持与检测传动带同步移动，使得设备不需要停机等待的情况下，实现对晶圆盒的动态检测，整个检测过程实现自动连续化操作，大大提高了检测效率。

本发明授权一种晶圆盒的检测设备及晶圆盒的检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒的检测设备，包括进料传送带（1）、出料传送带（2）、回料传送带（3）、摆轮分拣机（4）和检测传动带（5），其特征在于：所述进料传送带（1）、检测传动带（5）、摆轮分拣机（4）和出料传送带（2）根据传输方向依次设置在同一直线上，且回料传送带（3）设置在摆轮分拣机（4）的另一侧并与出料传送带（2）传输方向垂直，所述检测传动带（5）侧边设有回转机构（6），该回转机构（6）上通过支撑架（7）安装有同步检测机构，所述回转机构（6）用于带动同步检测机构与检测传动带（5）同步移动； 所述同步检测机构包括有通过相互垂直的水平移动结构（8）和竖直移动结构（9）安装的吊架（10），该吊架（10）的底端安装着检测盒（11），所述检测盒（11）的两侧对称设有平行的横杆（12），每一根横杆（12）上沿长度方向通过若干检测杆（13）均匀安装有若干激光位移传感器（14），所述激光位移传感器（14）伸入晶圆盒的卡料槽内并沿竖直方向移动，以检测晶圆盒的卡料槽上下宽度是否一致。

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