无锡富创得精密设备有限公司刘孟飞获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得精密设备有限公司申请的专利一种掩膜板密封机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223308537U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422821556.9,技术领域涉及:G03F1/66;该实用新型一种掩膜板密封机构是由刘孟飞;郑青斌;宁坚;茅茂;曹金星;弓利军设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜板密封机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及掩膜板加工技术领域,尤其是指一种掩膜板密封机构,包括具有安装腔的箱体、密封板、用于驱动密封板封闭安装腔开口处的驱动机构,所述安装腔用于放置掩膜板本体;当需要存放掩膜板本体时,将掩膜板本体放置于安装腔内,驱动机构驱动密封板封闭安装腔开口处;当需要取出掩膜板本体时,驱动机构带动密封板远离安装腔开口处,将掩膜板本体从安装腔取出;本实用新型实现顺利取放掩膜板本体,通过密封板密封安装腔的开口处,保证安装腔的密封性,保障掩膜板加工质量。
本实用新型一种掩膜板密封机构在权利要求书中公布了:1.一种掩膜板密封机构,其特征在于,包括具有安装腔101的箱体1、密封板2、用于驱动密封板2封闭安装腔101开口处的驱动机构3,所述安装腔101用于放置掩膜板本体01; 当需要存放掩膜板本体01时,将掩膜板本体01放置于安装腔101内,驱动机构3驱动密封板2封闭安装腔101开口处; 当需要取出掩膜板本体01时,驱动机构3带动密封板2远离安装腔101开口处,将掩膜板本体01从安装腔101取出。
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