苏州欧名欣电子科技有限公司刘会珍获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州欧名欣电子科技有限公司申请的专利一种光刻胶减压干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308540U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422864649.X，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种光刻胶减压干燥装置是由刘会珍设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶减压干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光刻胶减压干燥装置，尤其涉及半导体生产技术领域，包括箱体，该光刻胶减压干燥装置，在使用时，将涂胶后的半导体放置在放置板上，然后关闭箱体，启动第一真空泵，打开控制阀，通过第一抽气管将箱体内的气体吸出，并排出，从而实现减压干燥的效果，干燥完成之后，将半导体放置在放置板上，通过第二真空泵和第二抽气管抽气，使得半导体紧贴放置板，防止其移位，安装放置板时，只需要拉动拉杆，通过固定板配合固定架，从而压缩弹簧，然后将放置板底部的插块插入固定架上的插槽，之后松开拉杆，弹簧回弹，使得拉杆的一端插入销孔中，从而对放置板进行限位固定，这样的设置，更方便对放置板进行安装。
本实用新型一种光刻胶减压干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶减压干燥装置，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的内侧开设有固定槽2，所述固定槽2的内侧固定连接有第一真空泵3，所述第一真空泵3的进气口一端连接有控制阀4，所述控制阀4的一侧连接有第一抽气管5，所述箱体1的内侧固定连接有固定座6，所述固定座6的内侧固定连接有电缸7，所述电缸7的输出端开设有螺纹孔8，所述螺纹孔8的内侧螺纹连接有托板9，所述电缸7的输出端外侧套设有放置板10，所述放置板10的顶部贯穿开设有收纳槽11。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州欧名欣电子科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区东富路35号1号楼三层3239室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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