湖北兴福电子材料股份有限公司徐泽获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉湖北兴福电子材料股份有限公司申请的专利一种提高FIB-材料分析导电性的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119715643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411695639.6,技术领域涉及:G01N23/2251;该发明授权一种提高FIB-材料分析导电性的方法是由徐泽;贺兆波;叶瑞;曾远;黄莉设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高FIB-材料分析导电性的方法在说明书摘要公布了:一种提高FIB‑材料分析导电性的方法,包括以下步骤:在扫描电子显微镜模式下找到目标区域,倾转样品台准备在离子束下进行保护层沉积,保护层沉积前伸入纳米机械手增强导电性辅助沉积,利用离子束对目标区域进行粗切和细切后得到目标截面,回纳米机械手,调整扫描电子显微镜下观察截面区域位置,拍摄前再伸入纳米机械手来增强导电性提高拍摄照片质量。该方法利用纳米机械手的导电性,有效改善了样品表面电荷的聚集。使得在离子束下镀W和粗切时不会出现图像漂移的现象,从而能够在目标区域精准镀W和粗切,并且提高了截面拍摄图像的质量。该方法操作简单,精准度高,具有快速提高样品导电性的效果,有很强的实用性。
本发明授权一种提高FIB-材料分析导电性的方法在权利要求书中公布了:1.一种提高FIB-材料分析导电性的方法,其特征在于,包括以下步骤: (1)在扫描电子显微镜模式下找到的目标区域; (2)倾转样品台准备在离子束下进行保护层沉积; (3)伸入纳米机械手增强导电性辅助沉积,在离子束窗口下,电压20-30kV,束流为80-430pA,进入纳米机械手,在接触到FIB材料表面后瞬间停止移动; (4)目标区域进行保护层沉积; (5)利用离子束对目标区域进行粗切和细切后得到目标截面; (6)收回纳米机械手,调整扫描电子显微镜下观察截面区域位置; (7)拍摄前再伸入纳米机械手来增强导电性提高拍摄照片质量,在电子束窗口下,电压1-10kV,束流25-200pA,进入纳米机械手,在接触到FIB材料表面后瞬间停止移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖北兴福电子材料股份有限公司,其通讯地址为:443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。