成都联江科技有限公司兰洋获国家专利权
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龙图腾网获悉成都联江科技有限公司申请的专利紫外光刻镜头以及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308544U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422926406.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型紫外光刻镜头以及光刻机是由兰洋;朱红伟;邱盛平设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本紫外光刻镜头以及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种紫外光刻镜头及光刻机，涉及光学技术领域，其中，紫外光刻镜头包括由物侧到像侧依次布置的多个透镜；其中，第一透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十九透镜、第二十透镜、第二十一透镜以及第二十四透镜的光焦度为负值，第二透镜、第三透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十四透镜、第十五透镜、第十六透镜、第十七透镜、第十八透镜、第二十二透镜、第二十三透镜的光焦度为正值，所述多个透镜均设置为球面透镜；本实用新型提供的技术方案在保持精度的同时能够大大降低紫外光刻镜头的装调难度及成本。
本实用新型紫外光刻镜头以及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种紫外光刻镜头，其特征在于，所述紫外光刻镜头具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述紫外光刻镜头包括由物侧到像侧依次布置的多个透镜，所述多个透镜包括光焦度为负的第一透镜、光焦度为正的第二透镜、光焦度为正的第三透镜、光焦度为负的第四透镜、光焦度为负的第五透镜、光焦度为负的第六透镜、光焦度为正的第七透镜、光焦度为正的第八透镜、光焦度为正的第九透镜、光焦度为正的第十透镜、光焦度为正的第十一透镜、光焦度为负的第十二透镜、光焦度为负的第十三透镜、光焦度为正的第十四透镜、光焦度为正的第十五透镜、光焦度为正的第十六透镜、光焦度为正的第十七透镜、光焦度为正的第十八透镜、光焦度为负的第十九透镜、光焦度为负的第二十透镜、光焦度为负的第二十一透镜、光焦度为正的第二十二透镜、光焦度为正的第二十三透镜、光焦度为负的第二十四透镜；其中，所述多个透镜均设置为球面透镜。
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