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龙图腾网获悉中国人民解放军军事航天部队航天工程大学申请的专利一种真空紫外光源及使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119419114B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510022044.2，技术领域涉及：H01J61/28；该发明授权一种真空紫外光源及使用方法是由冯高平;洪延姬;梁健玮;饶伟;宋俊玲;齐山东;徐伟生;王明东设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空紫外光源及使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种真空紫外光源及使用方法，涉及光源技术领域，以解决现有真空紫外光源工作时间短、强度衰减快的问题。流量控制模块、放电模块、气体缓冲模块依次连接；流量控制模块的真空计安装在真空法兰上，法兰腔体两端分别与流量控制单元和放电模块的一端固定连接，真空泵与放电模块的另一端固定连接，流量控制单元外接惰性气源；放电模块的放电管安装在螺旋谐振腔内，放电管的两端分别与真空计和真空泵连通，螺旋谐振腔外接射频放电模块；气体缓冲模块的气体缓冲区的一端与放电管固定连接，气体缓冲区与放电管同轴设置，窗片设置在气体缓冲区的另一端，气体缓冲区与真空泵连通。上述真空紫外光源具有工作时间长、强度衰减慢的优势。

本发明授权一种真空紫外光源及使用方法在权利要求书中公布了：1.一种真空紫外光源，其特征在于，包括流量控制模块、放电模块和气体缓冲模块； 所述流量控制模块、所述放电模块以及所述气体缓冲模块依次顺序连接； 所述流量控制模块包括流量控制单元、真空计和真空泵，所述真空计安装在真空法兰上，法兰腔体的两端分别与所述流量控制单元和所述放电模块的一端固定连接，所述真空泵通过气体出口管路与所述放电模块的另一端固定连接，所述流量控制单元外接惰性气源； 所述放电模块包括螺旋谐振腔、放电管和射频放电模块，所述放电管安装在所述螺旋谐振腔内，所述放电管的两端分别与所述真空计和所述真空泵连通，所述螺旋谐振腔外接射频放电模块； 所述气体缓冲模块包括气体缓冲区和窗片，所述气体缓冲区的一端与所述放电管固定连接，所述气体缓冲区与所述放电管同轴设置，所述窗片设置在所述气体缓冲区的另一端，所述气体缓冲区与所述真空泵连通； 所述放电管与所述螺旋谐振腔同轴设置； 惰性气源的气体通过气体入口穿过流量控制模块,再经过真空计所在腔体进入到放电管,并在真空泵的作用下,通过气体出口流出；流动的惰性气体在放电管内形成气压梯度,在放电管内气压较高,在放电管后气压较低压力梯度增加了真空紫外光的产出,减弱了放电区域外基态氪原子对真空紫外光的自吸收效应。

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