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龙图腾网获悉地球山(苏州)微电子科技有限公司申请的专利MEMS气冷式散热装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119486074B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510052379.9，技术领域涉及：H05K7/20；该发明授权MEMS气冷式散热装置及其使用方法是由严衍伦;刘长华设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS气冷式散热装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS气冷式散热装置及其使用方法，包括：壳体、微阀门组件和运动执行组件，微阀门组件包括悬臂梁、第一隔板和气室，悬臂梁附接有致动器以在悬臂梁上产生法向方向的驱动力，由此利用悬臂梁选择性打开或关闭通孔；运动执行组件包括第二隔板，第二隔板附接至壳体以分隔出第一流体室和第二流体室，第二隔板包括开口，于开口之上跨设振膜和压电致动器。本发明利用致动器和悬臂梁构造主动式单向微阀门组件，其与运动执行组件的配合，将冷却气体单向引导向邻近于电子设备热端的流体室，进而使受热空气排出，实现散热效果，利用压电膜层的高工作频率，振动产生的超声波不可听见，具有无噪音和功耗较低的优势。

本发明授权MEMS气冷式散热装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS气冷式散热装置，其特征在于，包括： 壳体，所述壳体包括顶盖和底座，所述壳体上设置有进气端和排气端，所述进气端配置用于导入冷却气体； 单向微阀门组件，所述单向微阀门组件包括悬臂梁、第一隔板和所述第一隔板分隔的气室，所述进气端流体连通至所述气室，所述第一隔板上与所述悬臂梁对准设置有通孔以使所述气室流体连通至第一流体室，所述悬臂梁附接有第一致动器以在所述悬臂梁上产生法向方向的驱动力，允许所述悬臂梁抵靠所述第一隔板的状态下使所述通孔关闭，致使所述单向微阀门组件调节至关闭状态，或者在所述悬臂梁未受到驱动力的状态下使所述通孔打开，致使所述单向微阀门组件保持在打开状态；所述悬臂梁包括固定部和活动部，所述固定部锚固于所述顶盖上，所述活动部悬置于所述第一隔板的上方且与所述第一致动器直接接触，所述第一致动器和所述悬臂梁构成静电式超声波换能器，所述静电式超声波换能器包括贴设于所述悬臂梁之上的顶部电极和架设于所述通孔附近的底部电极，所述顶部电极与所述底部电极之间施加驱动信号时引起所述悬臂梁的活动部绕其固定部朝向或远离所述第一隔板的往复振动，由此打开或关闭所述通孔； 运动执行组件，所述运动执行组件配置成压电微机械超声换能器，所述运动执行组件包括层叠的第二隔板、振膜和第二致动器，所述第二隔板附接至所述壳体以分隔出第一流体室和第二流体室，所述第二隔板上开设有开口，所述振膜的至少部分悬置于所述开口之上以在所述第二致动器带动下发生弯曲运动，用于实现冷却气体沿第一流动路径的单向流动，所述第一流动路径包括从所述气室流动通过所述第一流体室而进入所述第二流体室； 控制部，所述控制部配置以分别向所述第一致动器和所述第二致动器施加第一驱动信号和第二驱动信号的脉冲序列每一脉冲周期包括第一时间间隔和第二时间间隔：其中，于所述第一时间间隔内，通过使施加至所述第二致动器的第二驱动信号具有负脉冲相位，在所述单向微阀门组件保持打开的状态下经由进气端导入冷却气体； 于所述第二时间间隔内，通过向所述第一致动器施加第一驱动信号，致使所述微阀门组件关闭以使所述气室与所述第一流体室气密性阻隔，同时使施加至所述第二致动器的第二驱动信号具有正脉冲相位，致使所导入的冷却气体的一部分自所述第一流体室流动通过所述第二流体室而向外部环境排出； 其中，所述第二致动器为压电致动器，所述压电致动器配置成基于压电膜的致动器，施加至所述压电致动器的第二驱动信号的频率接近于所述压电膜的固有频率，所述底座可移除地贴设于电子设备的热端；所述排气端配置用于提供所述第二流体室至外部环境的流体连通。

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