北京日扬弘创智能装备有限公司杨朔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利一种DSP上下料自适应受力检测控制方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119820470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510142716.3,技术领域涉及:B24B37/04;该发明授权一种DSP上下料自适应受力检测控制方法及装置是由杨朔;张永涛;耿喜平;关仁杰;葛成重设计研发完成,并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种DSP上下料自适应受力检测控制方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种DSP上下料自适应受力检测控制方法,包括以下步骤:机械手吸取晶元向下移动并实时检测三个力传感器的实时压力值;当检测到任意实时压力值大于预设压力值时,停止机械手进行姿势调整,判断是否继续下移重复前述流程,直至三个实时压力值均大于预设压力值,分别计算三个实时压力值与当前平均压力值的差值并据此调整机械手姿势至三个差值均小于阈值压力值,判断三个实时压力值是否大于告警压力值并据此调整机械手位置。本发明实时监测力与设定值进行实时比对,控制取放料过程中机器人动作姿势,使晶圆在上下料过程中受力均匀,避免损坏。本发明还公开了用于实现上述方法的装置、电子设备和计算机可读存储介质。
本发明授权一种DSP上下料自适应受力检测控制方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种DSP上下料自适应受力检测控制方法,其特征在于,包括以下步骤: 第一检测步骤:机械手吸取晶元向下移动,并实时检测三个力传感器的实时压力值;其中,机械手前端安装三个晶圆吸盘,按圆周等距分布; 当检测到至少一个实时压力值大于预设压力值时,向所述机械手发送停止指令;其中,所述预设压力值,包括:上料预设压力值或下料预设压力值; 计算所述每个实时压力值与预设压力值的第一差值; 根据每个所述第一差值和力偏差值与翻转角度的转换系数,确定每个实时压力值对应的机械手实时翻转角度; 根据每个所述机械手实时翻转角度向机械手发送姿势调整指令,当调整后的至少一个实时压力值小于或者等于所述预设压力值时,返回所述第一检测步骤,直至三个实时压力值均大于所述预设压力值; 当三个实时压力值均大于预设压力值时,根据三个实时压力值和三个实时压力值的当前平均压力值,向机械手发送姿势再次调整指令; 当再次调整后的三个实时压力值分别与当前平均压力值的差值均小于阈值压力值时,判断至少一个实时压力值是否大于或等于告警压力值;其中,所述告警压力值包括:上料告警压力值或下料告警压力值; 当至少一个实时压力值大于或等于告警压力值时,则向所述机械手发送上移指令,直至三个实时压力值均小于告警压力值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京日扬弘创智能装备有限公司,其通讯地址为:100000 北京市大兴区青云店镇青正街8号546室平房(集群注册);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。