杭州广立测试设备有限公司朱晓敏获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州广立测试设备有限公司申请的专利晶圆的自动化测试方法、装置和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119965135B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510406578.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆的自动化测试方法、装置和电子设备是由朱晓敏;王弘;安亚宁;高能;周俊宇;冯新龙设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的自动化测试方法、装置和电子设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆的自动化测试方法、装置和电子设备。其中，该方法包括：生成测试计划，并自动获取用户生成测试计划所填写的晶圆的参数信息，基于参数信息自动确定晶圆的边缘切割结果，将边缘切割结果与测试计划进行关联；其中，边缘切割结果包括待测裸片的边缘结果及待测裸片上各个测试结构是否被切割的完整结果；获取测试计划，遍历测试计划中需测试的待测裸片，基于测试计划关联的边缘切割结果判断待测裸片的测试结构是否可测试，对待测裸片进行自动测试。该方式中，可以自动计算出整张晶圆上可以测试的范围并进行晶圆的自动化测试，不需要依赖人工筛选，可以提高测试效率，也不会出现失误的情况。
本发明授权晶圆的自动化测试方法、装置和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的自动化测试方法，其特征在于，所述方法包括： 生成测试计划，并自动获取用户生成测试计划所填写的晶圆的参数信息，基于所述参数信息自动确定晶圆的边缘切割结果，将所述边缘切割结果与所述测试计划进行关联；其中，所述边缘切割结果包括待测裸片的边缘结果及待测裸片上各个测试结构是否被切割的完整结果； 获取测试计划，遍历所述测试计划中需测试的待测裸片，基于边缘切割结果判断所述待测裸片是否为边缘裸片；如果所述待测裸片非边缘裸片，则对所述待测裸片上全部的需测试结构进行自动测试；如果所述待测裸片是边缘裸片，则判断边缘裸片上的需测试结构是否完整，对完整的需测试结构进行自动测试。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州广立测试设备有限公司，其通讯地址为：310012 浙江省杭州市西湖区西斗门路3号天堂软件园A幢1楼1106室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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