宸微设备科技(苏州)有限公司潘兴强获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120099471B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510602084.4,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权镀膜设备是由潘兴强;俞望超;魏兆勇;李靖设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜设备在说明书摘要公布了:本公开实施例提供了一种镀膜设备,包括:第一腔室;静电吸盘,位于所述第一腔室内;准直器,位于所述第一腔室内,具有多个间隔分布的准直通道;第二腔室,与所述第一腔室相邻设置,其中,所述第二腔室与所述第一腔室相邻的腔壁上具有连通通道,所述第二腔室通过所述连通通道与所述第一腔室连通;传动装置,装配于所述第二腔室,被配置为经所述连通通道与所述准直器传动配合,以驱动所述准直器相对所述静电吸盘转动。采用上述技术方案,能够改善转印效应。
本发明授权镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,其特征在于,包括: 第一腔室; 静电吸盘,位于所述第一腔室内; 准直器,位于所述第一腔室内,具有多个间隔分布的准直通道; 第二腔室,与所述第一腔室相邻设置,其中,所述第二腔室与所述第一腔室相邻的腔壁上具有连通通道,所述第二腔室通过所述连通通道与所述第一腔室连通; 传动装置,装配于所述第二腔室,被配置为经所述连通通道与所述准直器传动配合,以驱动所述准直器相对所述静电吸盘转动; 齿环,与所述准直器同轴设置,具有沿所述准直器的周向分布的多个轮齿,其中,所述齿环被配置为与所述传动装置传动配合,并在被所述传动装置传动的情况下驱动所述准直器同步转动; 电引件,所述电引件的一端与所述齿环电连接,另一端贯穿所述第一腔室后与所述第一腔室外的电源连接,其中,所述齿环与所述准直器电连接,所述电源通过所述电引件向所述齿环以及所述准直器施加偏压。
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