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龙图腾网获悉杭州高谱成像技术有限公司申请的专利一种基于线扫描高光谱相机的膜厚测量方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120274652B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510732255.5，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种基于线扫描高光谱相机的膜厚测量方法及系统是由赵云龙;马强;蔡青;潘明忠设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于线扫描高光谱相机的膜厚测量方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于线扫描高光谱相机的膜厚测量方法及系统，涉及高光谱成像技术领域，方法包括：获取反射或透射光谱图像和暗噪声图像，进行去噪处理；使用高光谱相机及积分球，对反射或透射光谱图像进行辐射校正；根据无薄膜时的透射光谱或标准镜面反射光谱，获取薄膜反射率或透射率光谱；根据反射率或透射率曲线，确定全域干涉周期的数量，使用快速傅立叶变换方法或光谱拟合方法计算获得膜厚。通过高光谱相机获取具备空间与光谱信息的图像数据，通过快速傅立叶变换与光谱拟合相结合的算法，实现全域成像和动态扫描下的高精度膜厚测量，同时采用暗噪声校正与积分球辐射校正，确保入射光与样品反射或透射光的定量准确性，大幅提高检测效率。

本发明授权一种基于线扫描高光谱相机的膜厚测量方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于线扫描高光谱相机的膜厚测量方法，其特征在于，包括： 使用线扫描高光谱相机获取由空间维度和光谱维度构成的薄膜的反射或透射光谱图像； 获取所使用高光谱相机的暗噪声图像，并对所述反射或透射光谱图像进行去噪处理； 使用所述高光谱相机及积分球，对所述反射或透射光谱图像进行辐射校正； 根据无薄膜时的透射光谱或标准镜面反射光谱，获取薄膜反射率或透射率光谱； 根据反射率或透射率曲线，确定全域干涉周期的数量，当干涉周期数量大于等于5时，使用快速傅立叶变换方法计算获得膜厚，干涉周期数量小于5时，使用光谱拟合方法计算获得膜厚；其中，使用快速傅立叶变换方法计算获得膜厚，包括：获取反射率或透射率数据，并对数据进行去噪、平滑和去基线处理；利用选区算法进行数据选区，并对选区范围使用窗口函数来减少频谱泄露；根据选区结果确定对应的折射率数据，并对折射率数据进行插值，使折射率数据和光谱数据的维度匹配；根据所述高光谱相机的镜头视场角及相机与待测薄膜平面法向的夹角，确定不同空间维度光谱对应的入射角；根据角度校正算法和选区折射率数据，对不同空间维度的光谱进行坐标变换；对坐标变换后的光谱数据进行快速傅立叶变换，从变换的结果中获得峰值点位；以峰值点位坐标作为参数，利用高斯拟合获得拟合峰值点数据，拟合峰值点数据即为膜厚。

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