成都森未科技有限公司王思亮获国家专利权
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龙图腾网获悉成都森未科技有限公司申请的专利超结IGBT器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120343935B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510820431.0,技术领域涉及:H10D12/00;该发明授权超结IGBT器件及其制备方法是由王思亮;李睿;马克强;胡敏设计研发完成,并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本超结IGBT器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种超结IGBT器件及其制备方法;该超结IGBT器件,包括:依次设置的集电层、缓冲层、耐压层、以及顶部复合结构;顶部复合结构包括顶部基层和栅极结构,顶部基层具有沟槽,栅极结构形成于沟槽内;其中,耐压层包括交替分布的第一耐压区和第二耐压区,且第二耐压区和第一耐压区形成插指状分布。该超结IGBT器件中的第二耐压区和第一耐压区形成插指状分布,在器件关断的过程中,能够利用呈插指状分布的第二耐压区和第一耐压区,有效地增加载流子抽取路径的电阻,以降低器件关断阶段的电流下降速度,从而抑制关断电压尖峰,并改善器件发生过压击穿而失效的问题。
本发明授权超结IGBT器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种超结IGBT器件,其特征在于,包括:依次设置的集电层(10)、缓冲层(20)、耐压层、以及顶部复合结构; 所述顶部复合结构包括顶部基层和栅极结构(5),所述顶部基层具有沟槽,所述栅极结构(5)形成于所述沟槽内;其中, 所述耐压层包括交替分布的第一耐压区(30)和第二耐压区(31),且所述第二耐压区(31)和所述第一耐压区(30)形成插指状分布; 所述第一耐压区(30)包括多个第一长指(301)和多个第一短指(302),所述第二耐压区(31)包括多个第二长指(311)和多个第二短指(312);沿第一方向,多个所述第二长指(311)和多个所述第二短指(312)依次交替排布,且多个所述第一长指(301)和多个所述第一短指(302)依次交替排布;沿第二方向,多个所述第二长指(311)与多个所述第一短指(302)一一对应地排布,且多个所述第二短指(312)与多个所述第一长指(301)一一对应地排布;其中,所述第一方向与所述第二方向呈夹角分布,且所述集电层(10)、所述缓冲层(20)、所述耐压层、以及所述顶部复合结构沿所述第一方向依次排布; 其中,沿所述第一方向,所述第二耐压区(31)的两端均为所述第二短指(312),且其中一个设置于所述缓冲层(20),另一个用于设置所述顶部基层; 沿所述第一方向,所述第一耐压区(30)的两端均为所述第一长指(301),且其中一个设置于所述缓冲层(20),另一个用于设置所述顶部基层; 所述顶部基层包括载流子存储区(32)、第二基区(42)、以及第一基区(41)和源区(40);其中,所述载流子存储区(32)和所述第二基区(42)依次设置于所述耐压层背离所述缓冲层(20)的一侧,第一基区(41)和源区(40)设置于所述第二基区(42)背离所述载流子存储区(32)的一侧,所述源区(40)与所述栅极结构(5)相邻。
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