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丰睿成(湖北)半导体材料有限公司程林峰获国家专利权

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龙图腾网获悉丰睿成(湖北)半导体材料有限公司申请的专利键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120330469B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510832729.3,技术领域涉及:C21D11/00;该发明授权键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质是由程林峰;李军;程火林;张海军设计研发完成,并于2025-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。

键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质,涉及键合丝退火设备温度异常原因确定技术领域,方法包括:获取预设滑动时间窗口内每一温度传感器每一次检测温度时对应位置处的气压,以得到气压矩阵HA;获取气体退火装置对应的若干气体参数、若干管道参数和若干环境参数,得到退火装置对应的关键参数特征向量QA;将QA和HA输入至预设的键合丝温度预测模型,以得到HA对应的预测温度矩阵HB;将HB与A进行同位作差,以得到温度差值矩阵ΔH;对ΔH进行分析,以确定键合丝退火异常的具体原因;本发明能够实现对温度异常的精准诊断,减少盲目排查导致的维修成本增加与生产停滞,保障键合丝退火质量稳定性。

本发明授权键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种键合丝退火设备温度异常原因确定方法,其特征在于,所述键合丝退火设备包括气体退火装置和输送装置,所述输送装置用于输送键合丝穿过所述气体退火装置进行气体退火,所述气体退火装置内设置有若干依次排列的温度传感器,温度传感器用于检测键合丝的温度; 所述方法包括以下步骤: Q100,若键合丝退火异常的原因为初始温度异常或温度传感器异常,则获取预设滑动时间窗口内每一温度传感器每一次检测温度时对应位置处的气压,以得到气压矩阵HA;HA包括若干行和若干列,每一行包括同一温度传感器对应的位置在不同检测时刻检测的气压,每一列包括同一检测时刻检测的不同温度传感器对应的位置处的气压; Q200,获取气体退火装置对应的若干气体参数、若干管道参数和若干环境参数,得到气体退火装置对应的关键参数特征向量QA; Q300,将QA和HA输入至预设的键合丝温度预测模型,以得到HA对应的预测温度矩阵HB;其中,HB与HA的维度相同,HB中的每一元素表示对应的温度传感器位置在对应检测时刻键合丝的预测温度; Q400,将HB与A进行同位作差,以得到温度差值矩阵ΔH;其中,A为每一温度传感器在预设滑动时间窗口内采集键合丝的实际温度得到的实际温度矩阵;A包括若干行和若干列,每一行包括同一温度传感器在不同检测时刻检测的温度,每一列包括同一检测时刻不同温度传感器检测的温度; Q500,对ΔH进行分析,以确定键合丝退火异常的具体原因; 步骤Q500包括以下步骤: Q510,获取ΔH=(ΔH1,ΔH2,…,ΔHi,…,ΔHn),i=1,2,…,n;其中,ΔHi为第i个温度传感器对应的温度差值序列,n为温度传感器的数量;ΔHi包括第i个温度传感器在不同检测时刻的预测温度与实际温度之间的温度差值; Q520,获取ΔH中每一温度差值序列对应的平均温度差值,以得到ΔH对应的平均温度差值列表YA=(YA1,YA2,…,YAi,…,YAn);其中,YAi为ΔHi对应的平均温度差值; Q530,遍历YA,若YAi>ψ,则将第i个温度传感器确定为异常温度传感器;其中,ψ为预设的平均温度差值阈值; Q540,根据异常温度传感器的数量及位置,确定键合丝退火异常的具体原因; 步骤Q540包括以下步骤: Q541,若确定出异常温度传感器的数量为0,则确定键合丝退火异常的原因为初始温度异常; Q542,若确定出异常温度传感器的数量大于0,则将A中异常温度传感器对应的检测温度删除,以得到A对应的修正后的实际温度矩阵WA; Q543,根据WA,确定键合丝退火异常的原因是否为温度传感器异常。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人丰睿成(湖北)半导体材料有限公司,其通讯地址为:438200 湖北省黄冈市浠水经济开发区洪山工业园;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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