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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种气体混合系统、方法以及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120346693B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510850942.7，技术领域涉及：B01F23/10；该发明授权一种气体混合系统、方法以及半导体工艺设备是由郭晋禛;纪雪峰设计研发完成，并于2025-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体混合系统、方法以及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种气体混合系统、方法以及半导体工艺设备，包括第一气体输入单元、第二气体输入单元、第一混合单元、第二混合单元、第一泄压单元、第二泄压单元、混合控制单元和第一输出单元。其优点在于，通过第一气体输入单元和第二气体输入单元向第一混合单元和第二混合单元分别输入不同压力的气体，利用两种气体之间压差可实现第一气体和第二气体的快速混合，并使得混气浓度更加稳定；通过将第一泄压单元、第二泄压单元分别与第一混合单元、第二混合单元连通，从而可保证第一混合单元、第二混合单元内部的压力稳定；此外，本发明的混气方法可以实现高压气体混配，不受压力限制，可以通入H2气压力为40psi，相对应的N2气压力为960psi进行混配。

本发明授权一种气体混合系统、方法以及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种气体混合系统，其特征在于，包括： 第一气体输入单元，所述第一气体输入单元与第一气源连通，用于输送第一气体； 第二气体输入单元，所述第二气体输入单元与第二气源连通，用于输送第二气体； 第一混合单元，所述第一混合单元与所述第一气体输入单元连通，用于储存第一气体以及进行第一气体与第二气体的混合； 第二混合单元，所述第二混合单元与所述第二气体输入单元连通，用于储存第二气体以及进行第二气体与第一气体的混合； 第一泄压单元，所述第一泄压单元与所述第一混合单元连通，用于通过泄压控制所述第一混合单元的压力以使第一气体的压力满足混合要求； 第二泄压单元，所述第二泄压单元与所述第二混合单元连通，用于通过泄压控制所述第二混合单元的压力以使第二气体的压力满足混合要求； 混合控制单元，所述混合控制单元分别与所述第一混合单元、所述第二混合单元连通，用于在开启状态下使所述第一混合单元与所述第二混合单元连通以使第一气体与第二气体混合； 第一输出单元，所述第一输出单元分别与所述第一混合单元、所述第二混合单元连通，用于向外输出第一气体与第二气体混合后的混合气体； 温度控制单元，所述温度控制单元分别与所述第一混合单元、所述第二混合单元连通，用于对所述第一混合单元、所述第二混合单元进行温度控制； 缓冲单元，所述缓冲单元与所述第一输出单元连通，用于缓冲混合气体； 第二输出单元，所述第二输出单元分别与所述缓冲单元、所述第一输出单元、工艺机台连通，用于输出混合气体； 其中，所述第一混合单元包括： 第一混合元件，所述第一混合元件分别与所述第一气体输入单元、所述第一泄压单元、所述混合控制单元、所述第一输出单元连通，用于储存第一气体以及进行第一气体与第二气体的混合； 第三控制阀元件，所述第三控制阀元件设置于所述第一混合元件，用于控制所述第一混合元件的流通； 第五压力监测元件，所述第五压力监测元件与所述第一混合元件连通，用于监测所述第一混合元件的压力； 第一温度监测元件，所述第一温度监测元件与所述第一混合单元连通，用于监测所述第一混合单元的温度； 其中，所述第二混合单元包括： 所述第二混合单元包括： 第二混合元件，所述第二混合元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二泄压单元、所述混合控制单元、所述第一输出单元连通，用于储存第二气体以及进行第二气体与第一气体的混合； 第四控制阀元件，所述第四控制阀元件设置于所述第二混合元件，用于控制所述第二混合元件的流通； 第六压力监测元件，所述第六压力监测元件与所述第二混合元件连通，用于监测所述第二混合元件的压力； 第二温度监测元件，所述第二温度监测元件与所述第二混合单元连通，用于监测所述第二混合单元的温度； 其中，所述混合控制单元包括： 连通管路元件，所述连通管路元件分别与所述第一混合单元、所述第二混合单元连通，用于使第一气体与第二气体混合； 第五控制阀元件，所述第五控制阀元件设置于所述连通管路元件，用于控制所述连通管路元件的流通； 其中，所述温度控制单元包括： 第一控温管路元件，所述第一控温管路元件分别与所述第一混合单元、所述第二混合单元、换热设备连通，用于将具有第一温度的液体由换热设备输送至所述第一混合单元、所述第二混合单元； 第二控温管路元件，所述第二控温管路元件分别与所述第一混合单元、所述第二混合单元、换热设备连通，用于将具有第二温度的液体由所述第一混合单元、所述第二混合单元输送至换热设备； 第八控制阀元件，所述第八控制阀元件设置于所述第一混合单元，用于控制所述第一控温管路元件、所述第二控温管路元件和所述第一混合单元的流通； 第九控制阀元件，所述第九控制阀元件设置于所述第二混合单元，用于控制所述第一控温管路元件、所述第二控温管路元件和所述第二混合单元的流通。

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