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辽宁汉京半导体材料有限公司朱嘉宁获国家专利权

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龙图腾网获悉辽宁汉京半导体材料有限公司申请的专利一种基于石英晶体切割异常的监测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120404750B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510905842.X,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种基于石英晶体切割异常的监测方法及系统是由朱嘉宁;赵博;孙巧玉设计研发完成,并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于石英晶体切割异常的监测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于石英晶体切割异常的监测方法及系统,涉及异常监测技术领域,包括:通过高速工业相机与激光扫描光谱仪协同,捕获切割过程中每个切面的表面图像与反射光谱;对所述表面图像与所述反射光谱,进行预处理后进行空间配准;将空间配准后的图像与表面的切割路径进行特征融合,得到清晰的输入数据流;对每个切面对应的数据流,进行金字塔重建;将重构后的切面数据流,进行固有参数的简化,对简化后的切面数据流进行分析,得到石英晶体切面异常的检测结果。能够显著提升石英晶体切割过程中异常检测的自动化与智能化水平,突破了传统方法对微小缺陷、低对比度异常识别能力弱的技术瓶颈。

本发明授权一种基于石英晶体切割异常的监测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于石英晶体切割异常的监测方法,其特征在于,包括: 通过高速工业相机与激光扫描光谱仪协同,捕获切割过程中每个切面的表面图像与反射光谱; 对所述表面图像与所述反射光谱,进行预处理后进行空间配准,得到配准后的图像;将空间配准后的图像与表面的切割路径进行特征融合,得到清晰的输入数据流; 对每个切面对应的数据流,进行金字塔重建; 将重构后的切面数据流,进行固有参数的简化,对简化后的切面数据流进行分析,得到石英晶体切面异常的检测结果; 所述切割路径包括:以刀头的固定位置作为参考点,以参考点向两侧延伸的刀头线条作为切割时的参数反映基线,使处于同一参数反映基线的坐标位置上的反馈特征向量等于所述参考点的反馈特征向量; 在切割时,通过所述参考点的初始位置、切割速度向量和时间,记录所述参考点在图像所在的二维坐标系中,切割过程中的连续路径,同时生成处于同一参数反映基线的反馈特征向量: ; 其中,表示空间配准图像中的二维像素坐标,,表示参考点在图像中的路径;表示图像上像素点的反馈特征向量;参考点在时刻t的切割速度;表示参考点在时刻t的加速度;表示时刻t刀头的法向力;表示时刻t刀头的切向力;表示切割轨迹误差;t表示切割过程中的第t个时刻; 在每条参数反映基线中的每个像素点,引入虚拟的维度,表示参数反映基线上每个像素点的实际反馈特征向量;在虚拟的维度上,向两侧对所有像素点的实际反馈特征向量作出随机假设; 所述随机假设的约束为:参数反映基线上,所有像素点的实际反馈特征向量之和,等于参数反映基线的反馈特征向量; 对图像的全局进行适应度求解,选择适应度高于预设值的随机假设组合作为评估结果;得到对于全局随机假设组合的集合;An表示第n个随机假设组合,按照集合A中的每个元素对应的适应度,等比例地转化为概率; 所述适应度等于基于历史数据的先验概率与一维简化卷积神经网络的合理性分析结果之和; 所述特征融合包括:将集合A中每个元素对应的随机假设组合,按照像素点的对应关系,分别映射到空间配准后的图像中,得到参数维度上升后的n组图像; 所述固有参数包括:同材料下的标准切割面进行金字塔重建后的数据流中,识别到已存在异常表现的异常参数; 所述固有参数的简化过程包括:将所述固有参数在获取到的n组数据流中进行特征对比,从n组数据流中提取与所述固有参数最相似的数据成分,筛选相似的数据成分含量高于预设值的数据流m个,作为待分析的数据流;在所述待分析的数据流中,将与异常参数相同的部分始终作为常规的参数表现,得到仅由切割异常导致的异常部分; 其中,m≤n。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人辽宁汉京半导体材料有限公司,其通讯地址为:110027 辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区昆明湖街20号(全部)一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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