河南润源环保材料有限公司;鹤壁市银河分析仪器化工有限公司陈志勇获国家专利权
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龙图腾网获悉河南润源环保材料有限公司;鹤壁市银河分析仪器化工有限公司申请的专利一种颚破研磨一体机的自动上料装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120394176B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510914087.1,技术领域涉及:B02C23/02;该发明授权一种颚破研磨一体机的自动上料装置是由陈志勇;陈杰;任志立设计研发完成,并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种颚破研磨一体机的自动上料装置在说明书摘要公布了:本发明涉及高纯半导体材料处理技术领域,具体公开了一种颚破研磨一体机的自动上料装置,包括:存料仓、工作台、升降机构、横移机构、转动机构、第一干预机构和第二干预机构,存料仓设在工作台上,升降机构用于驱动工作台上下移动,横移机构用于驱动工作台水平移动,转动机构用于驱动工作台转动,第一干预机构包括固定杆、滑动杆和转动杆,固定杆设在工作台上,且位于存料仓旁,滑动杆滑动配合在固定杆上,转动杆转动配合在滑动杆上,第二干预机构与第一干预机构结构相同,且对称分布在存料仓的另一侧;本发明的颚破研磨一体机的自动上料装置能够实现自动上料,且能够使晶圆依次沿着进料斗的侧壁滑入进料口中,避免晶圆堆积在进料口处。
本发明授权一种颚破研磨一体机的自动上料装置在权利要求书中公布了:1.一种颚破研磨一体机的自动上料装置,包括:存料仓、工作台、升降机构、横移机构和转动机构;所述存料仓设在所述工作台上,所述升降机构用于驱动所述工作台上下移动,所述横移机构用于驱动所述工作台水平移动,所述转动机构用于驱动所述工作台转动;其特征在于,还设有第一干预机构和第二干预机构,所述第一干预机构包括固定杆、滑动杆和转动杆,所述固定杆设在所述工作台上,且位于所述存料仓旁,所述滑动杆滑动配合在所述固定杆上,所述转动杆转动配合在所述滑动杆上,所述第二干预机构与所述第一干预机构结构相同,且对称分布在所述存料仓的另一侧,工作台翻转后,两个所述转动杆能够承载晶圆,并在晶圆重力作用下推动所述滑动杆移动,使两个所述转动杆均与颚破研磨一体机的进料斗侧壁止抵,实现晶圆与所述进料斗的侧壁平行分布;所述转动杆通过扭簧与所述滑动杆连接,所述滑动杆上设有收纳槽,所述转动杆能够放入所述收纳槽内;还设有锁紧机构,所述锁紧机构包括限位板、推块和限位单元,所述推块滑动配合在所述固定杆底部,其一端是斜面端,且所述推块的斜面端能够伸入所述存料仓内,所述滑动杆上设有滑动槽,所述限位板滑动配合在所述滑动槽内,且通过第一弹性件与所述滑动杆连接,所述限位板的底端设有滑块,所述推块上设有V形槽,所述滑块能够伸入所述V形槽内,所述限位板上设有限位单元,所述限位单元能够与所述转动杆卡接。
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