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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利电磁对接晶圆传送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120453216B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510943860.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权电磁对接晶圆传送装置是由原国栋;范雄;朱建雄;田文康;王兆丰;王世宽设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本电磁对接晶圆传送装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种电磁对接晶圆传送装置，包括第一驱动件、第一滑轨、中转腔、干泵、第二滑轨、承托件、第二驱动件和三组电磁铁；通过第二电磁铁，利用电磁对位吸附实现了第一滑轨和第二滑轨的精准自动对中；通过第一电磁铁和第三电磁铁的配合，既实现了承托件驱动主体的快速、便捷切换，避免了传统高精度机械手成本高、调试维护复杂的问题，利用电磁吸附固定承托件，又实现了承托件在轨道上的精准移动，避免了人工操作效率低、污染风险高及位置偏差大的问题；本申请提供的电磁对接晶圆传送装置通过电磁吸附、双驱动切换与轨道对接的协同设计，实现了晶圆在大气环境与真空工艺腔之间的全自动转移。

本发明授权电磁对接晶圆传送装置在权利要求书中公布了：1.一种电磁对接晶圆传送装置，其特征在于，包括： 第一驱动件和第一滑轨，所述第一驱动件用于驱使所述第一滑轨运动； 中转腔，所述中转腔的一端设有可启闭的第一门阀、另一端设有可启闭的第二门阀，所述第一门阀面向所述第一滑轨，所述第二门阀连通工艺腔； 干泵，用于对所述中转腔抽真空； 第二滑轨，设于所述中转腔内，用于对接所述第一滑轨； 承托件，用于承载晶圆，并能够沿所述第一滑轨和所述第二滑轨运动； 第二驱动件，设于所述中转腔内，用于驱使所述承托件运动； 第一电磁铁，设于所述第一滑轨上，通电时能够吸附固定所述承托件； 第二电磁铁，设于所述第一滑轨或者所述第二滑轨的对接端，通电时能够吸附固定所述第一滑轨和所述第二滑轨，以便二者紧密对齐； 第三电磁铁，设于所述第二驱动件上，通电时能够吸附所述承托件以切换驱动主体； 工作时，所述第一电磁铁处于通电状态、将所述承托件固定于所述第一滑轨上，所述承托件接取待处理的晶圆后，所述第一驱动件驱使所述第一滑轨携所述承托件和所述晶圆经所述第一门阀进入所述中转腔； 所述第二电磁铁通电，实现所述第一滑轨与所述第二滑轨精准对接； 所述第三电磁铁通电、吸附所述承托件，所述第一电磁铁断电、释放所述承托件，所述第二驱动件驱使所述承托件从所述第一滑轨转移至所述第二滑轨； 所述第一驱动件驱使所述第一滑轨撤离所述中转腔； 所述第一门阀和所述第二门阀均处于关闭状态后，所述干泵能够对所述中转腔抽真空，以便于调控所述中转腔内的气压、使之接近所述工艺腔的工作压力； 完成泄压后，所述第二驱动件能够驱使所述承托件携所述晶圆经所述第二门阀进入所述工艺腔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡尚积半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。