美科陶瓷科技有限公司崔晋荣获国家专利权
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龙图腾网获悉美科陶瓷科技有限公司申请的专利静电吸盘加热器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207802B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080053180.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘加热器及其制造方法是由崔晋荣;徐峻原;李柱声设计研发完成，并于2020-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘加热器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及具有双极性结构的静电吸盘加热器，所述静电吸盘加热器包括：加热器主体部，所述加热器主体部具备根据半导体工艺模式而选择性地执行RF接地功能和静电吸盘功能中任一个的内部电极和外部电极；以及加热器支撑部，所述加热器支撑部加装于所述加热器主体部的下部，支撑所述加热器主体部。
本发明授权静电吸盘加热器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘加热器，包括： 加热器主体部，所述加热器主体部具备根据半导体工艺模式而选择性地执行射频接地功能和静电吸盘功能中任一个的内部电极和外部电极；以及 加热器支撑部，所述加热器支撑部加装于所述加热器主体部的下部，支撑所述加热器主体部， 所述加热器主体部还包括：外部电极连接构件，所述外部电极连接构件配置于电极层与发热体层之间，将所述外部电极与在所述加热器支撑部设置的棒电连接， 所述外部电极连接构件从所述内部电极和所述外部电极的下面隔开既定距离并与所述内部电极和所述外部电极平行配置， 所述外部电极连接构件的两端向所述外部电极的下面方向折弯形成。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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