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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器有限公司申请的专利一种光刻胶剥离方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114442443B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011188937.8，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种光刻胶剥离方法是由叶联;彭泰彦;车东晨;吴愧;许开东;胡冬冬设计研发完成，并于2020-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶剥离方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种光刻胶剥离方法，采用一具有光刻胶的晶圆，其包括：首先将晶圆放置于一刻蚀腔体内；刻蚀腔体内设置一开设有多个通孔的匀气盘；晶圆置于匀气盘和微波源之间；然后自晶圆的上方，先后向刻蚀腔体内通入氧气和水，以对光刻胶的表层部分进行软化过程；之后将通入的氧气和水均排出；之后自晶圆的上方，向刻蚀腔体内通入0.2~0.5g水并同时启动微波源，微波源将水气电离成离子状态，离子状态的水气经匀气盘下降至晶圆，以吸收晶圆上附着的氯离子；最后按照预设干法去胶参数，进行干法去胶，以将光刻胶的表层部分及光刻胶剥离。本发明通过设置匀气盘、软化过程和干法去胶过程中的参数，提高了光刻胶的去胶均匀性。

本发明授权一种光刻胶剥离方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶剥离方法，采用一具有光刻胶的晶圆，所述晶圆在光刻胶剥离前一工序为采用氯气的干法刻蚀，其特征在于，包括以下步骤： 步骤01：将所述晶圆放置于一刻蚀腔体内；所述刻蚀腔体内设置一开设有多个通孔的匀气盘；所述晶圆置于匀气盘和微波源之间，所述匀气盘包括N圈通孔单元，其中，N≥1；所述通孔单元包括沿圆周分布的若干所述通孔；所述通孔单元的半径不同； 步骤02：自所述晶圆的上方，先后向所述刻蚀腔体内通入氧气和水，以对所述光刻胶的表层部分进行软化过程； 步骤03：将步骤02中通入的氧气和水均排出； 步骤04：自所述晶圆的上方，向所述刻蚀腔体内通入0.2~0.5g水并同时启动所述微波源，水在下降过程中形成水气，所述微波源将水气电离成离子状态，离子状态的水气经匀气盘下降至所述晶圆，以吸收所述晶圆上附着的氯离子； 步骤05：按照预设干法去胶参数，进行干法去胶，以将所述光刻胶的表层部分及光刻胶剥离；其中，所述预设干法去胶参数包括氧气的流量和氮气的流量；所述氧气和氮气均自所述晶圆的上方，通入所述刻蚀腔体内，所述氧气流量为2000~4000sccm、氮气流量为200~800sccm； 同时自所述晶圆的上方，继续向所述刻蚀腔体内通入0.2~0.5g水，以吸收所述晶圆上附着的氯离子。

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