日本碍子株式会社鹈野雄大获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利振动板接合体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115004394B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080030783.1,技术领域涉及:H10N30/20;该发明授权振动板接合体是由鹈野雄大;多井知义;浅井圭一郎;丹羽真人设计研发完成,并于2020-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本振动板接合体在说明书摘要公布了:在包含高刚性陶瓷的振动板与支撑基板的接合体的基础上,提供能够维持振动板的强度且防止振动板的剥离或开裂的结构。振动板接合体5具备:支撑基板3,其包含硅;振动板1A,其包含高刚性陶瓷且厚度为100μm以下;以及接合层2,其包含α-Si,位于支撑基板3与振动板1A之间,并与振动板1A的接合面1a接触。振动板1A的接合面1a的算术平均粗糙度Ra为0.01nm以上10.0nm以下,振动板1A的接合面1a的蚀坑密度为每100μm2具有10个以上。
本发明授权振动板接合体在权利要求书中公布了:1.一种振动板接合体,其特征在于,具备: 支撑基板,该支撑基板包含硅; 振动板,该振动板包含高刚性陶瓷且厚度为100μm以下;以及 接合层,该接合层包含α-Si,位于所述支撑基板与所述振动板之间,并与所述振动板的表面接触, 所述振动板的所述表面的算术平均粗糙度Ra为0.01nm以上10.0nm以下,所述振动板的所述表面的蚀坑密度为每100μm2有10个以上。
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