上海禾赛科技有限公司高永丰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海禾赛科技有限公司申请的专利扫描振镜的扭力结构、扫描振镜及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115015876B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110248475.2,技术领域涉及:G01S7/481;该发明授权扫描振镜的扭力结构、扫描振镜及其制作方法是由高永丰;叶良琛;向少卿设计研发完成,并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描振镜的扭力结构、扫描振镜及其制作方法在说明书摘要公布了:一种扫描振镜的扭力结构、扫描振镜及其制作方法,其中所述扫描振镜中,第一分隔件、扭力结构、分隔件和反射镜依次层叠设置于基底上,而且通过焊接处理实现固定。通过焊接处理实现固定的层叠式结构,能够在离面方向实现复杂的、不同层次要求的结构,从而能够提升大尺寸扫描振镜镜面离面结构的加工能力以满足扫描振镜的设计需求,能够使所述扫描振镜的结构更加紧凑、整体尺寸更小,而且还能够避免MEMS工艺的使用以有效的控制工艺成本。
本发明授权扫描振镜的扭力结构、扫描振镜及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种扫描振镜,其特征在于,包括: 基底; 第一分隔件,所述第一分隔件层叠位于在所述基底上; 扭力结构,所述扭力结构层叠的位于所述基底上,适于提供扭力力矩,所述扭力结构包括:至少一个扭力梁,所述至少一个扭力梁层叠的设置于所述第一分隔件上,所述扭力结构和所述第一分隔件之间通过焊接的方式实现固定,所述扭力结构包括:第一扭力梁和第二扭力梁,所述第二扭力梁的延伸方向与所述第一扭力梁的延伸方向相交; 所述扫描振镜还包括:焊料,所述焊料位于所述扭力结构和所述第一分隔件之间以进行厚度补偿; 反射镜,所述反射镜层叠的位于所述扭力结构上; 第二分隔件,所述第二分隔件位于所述反射镜和所述扭力结构之间。
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