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龙图腾网获悉苏州珂玛材料科技股份有限公司申请的专利一种硅片定位结构及定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113964072B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111354627.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种硅片定位结构及定位方法是由黎宽;刘先兵设计研发完成，并于2021-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片定位结构及定位方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片定位结构，该结构置于冷盘表面并与冷盘固定，包括：定位部，该定位部为表面向内凹陷的贯通条状件，其凹陷贯通部分，于定位部底部形成与条状定位部延伸方向一致的腰槽，定位部本体的外壁面为自顶向下地朝远离腰槽方向延伸的倾斜延伸面；垫片层，该垫片层为，自定位部一端的端底朝向远离定位部的方向水平延伸的片状结构，垫片层伸出所述定位部的部分形成一绕设定位部该侧端面的平整放置面，其中，固定件穿过腰槽后与冷盘上的定位孔适配定位，锁紧状态下，固定件将硅片定位结构与冷盘固定，调整状态下，腰槽被所述固定件限位地于冷盘表面移动，其将导向结构和垫片结构一体成型，且能够在冷盘上滑动以实现垫片灵活定位调节。

本发明授权一种硅片定位结构及定位方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片定位结构，该硅片定位结构置于冷盘表面并与冷盘表面的定位孔固定，其特征在于，所述硅片定位结构包括： 定位部，该定位部为表面向内凹陷的贯通条状件，其凹陷贯通部分，于所述定位部底部形成与条状定位部延伸方向一致的腰槽，所述定位部本体的外壁面为自顶向下地朝远离所述腰槽方向延伸的倾斜延伸面，所述定位部的至少一端，朝向所述腰槽方向形成向内凹陷的让位部，所述让位部形成弧状表面，该弧状表面两侧的弧形端面进一步延伸，并各自通过一凹陷的弧面与所述定位部的外侧面形成对接； 垫片层，将所述让位部及其两侧的弧面整体定义为导向部，则垫片层为设置于所述导向部底部，并朝向远离所述定位部的方向水平延伸的片状结构，所述垫片层形成一绕设所述导向部的平整放置面，其中， 固定件穿过所述腰槽后与冷盘上的定位孔适配定位，锁紧状态下，固定件将所述硅片定位结构与冷盘固定，调整状态下，所述腰槽被所述固定件限位地于所述冷盘表面平移或者绕所述固定件作旋转移动，硅片从所述导向部的多个位置滑入所述硅片定位结构， 设定所述冷盘上的一点为中心点，并以该中心点确定等边三角形三个顶点的位置，将至少三个硅片定位结构设置于该等边三角形的三个顶点上。

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