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中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))施宜军获国家专利权

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龙图腾网获悉中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))申请的专利二极管结构及其制备方法、半导体器件结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114361256B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111631846.1,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权二极管结构及其制备方法、半导体器件结构及其制备方法是由施宜军;陈义强;贺致远;王宏跃;徐新兵;路国光;黄云设计研发完成,并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

二极管结构及其制备方法、半导体器件结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种二极管结构及其制备方法、半导体器件结构及其制备方法。本发明的二极管结构包括:栅极结构;阳极,位于栅极结构的一侧,与栅极结构具有间距;阴极,位于栅极结构远离阳极的一侧,与栅极结构具有间距;电容,电容的第一极板与阳极相连接,电容的第二极板与栅极结构相连接。在瞬态ESD期间,高电压变化率可诱导产生电容耦合电流,电容耦合电流将携带一定数量的正跃迁电荷到栅极结构,正跃迁电荷将存储在栅极结构并拉下栅极结构中的能带,并迫使电子聚集在栅极结构下,当正跃迁电荷产生的栅极电势达到一定值时,大电流可以通过栅极结构,使ESD引起的累积静电电荷被有效地释放,可以避免ESD对栅极结构的破坏,从而增强结构的ESD鲁棒性。

本发明授权二极管结构及其制备方法、半导体器件结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种二极管结构,其特征在于,所述二极管结构包括: 栅极结构; 阳极,位于所述栅极结构的一侧,与所述栅极结构具有间距; 阴极,位于所述栅极结构远离所述阳极的一侧,与所述栅极结构具有间距; 电容,所述电容的第一极板与所述阳极相连接,所述电容的第二极板与所述栅极结构相连接; 所述二极管结构还包括: 衬底; 外延层,位于所述衬底的表面; 势垒层,位于所述外延层远离所述衬底的表面;所述栅极结构、所述阳极、所述阴极及所述电容均位于所述势垒层远离所述外延层的表面; 第一钝化层,位于所述势垒层远离所述外延层的表面,位于所述阳极与所述阴极之间,且位于所述栅极结构外围; 第二钝化层,位于所述第一钝化层远离所述势垒层的表面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)),其通讯地址为:511300 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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