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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至汇半导体应用技术有限公司申请的专利自适应可变间距晶圆扫描系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496845B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111663766.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权自适应可变间距晶圆扫描系统及方法是由唐宝国;杨嘉斌设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本自适应可变间距晶圆扫描系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种自适应可变间距晶圆扫描系统及方法，该系统包括底座、设置在底座上的晶圆扫描发射端、对应晶圆扫描发射端的晶圆扫描接收端，一个所述晶圆扫描发射端和一个晶圆扫描接收端为一组晶圆扫描模组；底座上活动设置若干组晶圆扫描模组；晶圆扫描模组之间的距离可调。扫描时，根据通过采集单元采集所要扫描的晶圆的尺寸信息，然后通过尺寸确认对应的晶圆扫描模组之间的距离，通过PLC控制单元控制电机旋转，通过电机驱动调节晶圆扫描模组之间的距离，实现对对应规格的晶圆的扫描。本发明的自适应可变间距晶圆扫描系统及方法可实现传感器之间位置的调整，满足不同规格晶圆扫描的需求，在保证扫描效率的同时提升了晶圆扫描的兼容性。

本发明授权自适应可变间距晶圆扫描系统及方法在权利要求书中公布了：1.自适应可变间距晶圆扫描系统，其特征在于，包括底座、设置在底座上的晶圆扫描发射端、对应晶圆扫描发射端的晶圆扫描接收端，一个所述晶圆扫描发射端和一个晶圆扫描接收端为一组晶圆扫描模组；所述底座上活动设置若干组晶圆扫描模组；所述晶圆扫描模组之间的距离可调； 所述晶圆扫描发射端包括传感器发射端支架、传感器发射端，所述传感器发射端安装在传感器发射端支架上；所述晶圆扫描接收端包括传感器接收端支架、传感器接收端，所述传感器接收端安装在传感器接收端支架上，所述传感器发射端和传感器接收端一一对应；所述传感器发射端支架和传感器接收端支架分别活动安装在底座的一侧；所述底座为升降底座； 所述底座两侧分别设有用以传感器发射端支架以及传感器接收端支架安装的丝杆，所述传感器发射端支架和传感器接收端支架分别套设在丝杆外部；所述丝杆的一端安装有丝杆支撑座，所述丝杆的另外一端设有用以驱动丝杆转动的动力装置；所述传感器发射端支架之间和传感器接收端支架之间分别安装有弹簧，所述弹簧套设在丝杆上；所述丝杆上还设有用以推动传感器发射端支架和传感器接收端支架相对丝杆移动的推块，所述推块与丝杆螺纹配合，所述推块的侧面还设有限制推块自转的限位装置，所述推块设置在靠近丝杆连接动力装置的一端。

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