芝浦机械电子装置株式会社神谷将也获国家专利权
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龙图腾网获悉芝浦机械电子装置株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975167B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210116528.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由神谷将也;出村健介设计研发完成，并于2022-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能抑制基板的温度产生面内分布的偏差的基板处理装置。本发明的实施方式的基板处理装置包括：载置部，包含能载置基板的载置台，能使所载置的所述基板旋转；冷却喷嘴，能向所述载置台与所述基板之间的空间供给冷却气体；液体供给部，能向所述基板的与所述载置台侧相反的面供给液体；以及分散板，设置在所述冷却喷嘴的所述冷却气体的排出侧。所述分散板包含贯通厚度方向的第一孔。从沿着所述冷却喷嘴的中心轴的方向观察，所述第一孔设置在与所述冷却喷嘴的中心轴重叠的位置。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 载置部，包含能够载置基板的载置台，能够使所载置的所述基板旋转； 冷却喷嘴，能够向所述载置台与所述基板之间的空间供给冷却气体； 液体供给部，能够向所述基板的与所述载置台侧相反的面供给液体；以及 分散板，设置在所述冷却喷嘴的所述冷却气体的排出侧， 所述分散板包含贯通厚度方向的第一孔， 从沿着所述冷却喷嘴的中心轴的方向观察，所述第一孔设置在与所述冷却喷嘴的中心轴重叠的位置， 所述第一孔的截面尺寸比所述冷却喷嘴的孔的直径小。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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