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龙图腾网获悉泓浒(苏州)半导体科技有限公司申请的专利半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114689316B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210310870.3，技术领域涉及：G01M13/023；该发明授权半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件是由王彭;林坚设计研发完成，并于2022-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法及其组件，包括带有内齿的传动带，所述传动带的外侧设置有自动张紧轮，其与传动带相碰触设置，所述自动张紧轮的同轴上设置有距离传感器，所述距离传感器与终端设备相电联；所述传动带的内圈中设置有移动滑轨，所述移动滑轨上通过滑块设置有触碰杆，所述触碰杆与自动张紧轮在同一轴线设置，所述触碰杆与感应器相连，所述感应器与终端设备相连，在自动张紧轮位移后，触碰杆移动的距离与自动张紧轮移动的距离相等。本发明能提高工作效率。

本发明授权半导体晶圆传送机器臂内器件疲劳的监测方法及其组件在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆传送机器臂内器件寿命的监控方法，其特征在于，监控组件包括带有内齿的传动带，所述传动带的外侧设置有自动张紧轮，其与传动带相碰触设置，所述自动张紧轮的同轴上设置有距离传感器，所述距离传感器与终端设备相电联；所述传动带的内圈中设置有移动滑轨，所述移动滑轨上通过滑块设置有触碰杆，所述触碰杆与自动张紧轮在同一轴线设置，所述触碰杆与感应器相连，所述感应器与终端设备相连，在自动张紧轮位移后，触碰杆移动的距离与自动张紧轮移动的距离相等，所述触碰杆为带有感应器的软性板； 监控方法包括以下步骤： 步骤1：在传动带的外侧设置自动张紧轮，在自动张紧轮的一侧设置距离传感器，通过距离传感器检测自动张紧轮与所述距离传感器之间的距离L； 当传动带出现松弛时，自动张紧轮改变原始的位置，使松弛的传动带张紧，使自动张紧轮与距离检测器的距离L变大； 步骤2：预设张紧距离Lmax，当张紧距离Lmax大于或等于距离L时，判定传动带达到寿命； 当张紧距离Lmax小于距离L时，判定传动带未达到寿命； 步骤3：在传动带的内侧设置有可移动的触碰杆，触碰杆的一端与传动带的内齿的顶端形成接触状态，接着触碰后的触碰杆通过感应器将信号传输至终端设备； 预设极限未触碰个数Nmin，在触碰杆未触碰个数N小于极限未触碰个数Nmin时，判定传动带的内齿未达到寿命； 当在触碰杆未触碰个数N大于或等于极限未触碰个数Nmin时，判定传动带的内齿达到寿命； 自动张紧轮的距离L与未触碰个数N其中一个达到满足的条件时，则判定传动带达到寿命。

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