上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司康晓旭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利激光退火设备及激光退火控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115424961B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211202468.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权激光退火设备及激光退火控制方法是由康晓旭设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光退火设备及激光退火控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种激光退火设备及使用所述激光退火设备进行的激光退火控制方法。本发明的所述激光退火设备包括载物部、遮蔽部和激励部。本发明所述激光退火设备中，靠近所述载物部设置包括压电振子的遮蔽部，设置激励部电连接所述压电振子，并配置所述遮蔽部在所述激励部的驱动电压作用下产生的形变控制所述遮蔽部朝向或远离所述载物部运动，并控制所述遮蔽部顶部所遮蔽的待处理表面的面积，能够有效保护待处理基板。
本发明授权激光退火设备及激光退火控制方法在权利要求书中公布了：1.一种激光退火设备，其特征在于，包括： 载物部； 遮蔽部，靠近所述载物部设置，使得当所述载物部承载待处理基板，所述遮蔽部顶部遮蔽所述待处理基板自边缘起的部分待处理表面； 所述遮蔽部包括靠近所述载物部固定设置的压电振子，以通过驱动电压作用下产生的形变控制所述遮蔽部朝向或远离所述载物部运动，并控制所述遮蔽部顶部所遮蔽的待处理表面的面积； 激励部，电连接所述压电振子，以提供所述驱动电压； 所述压电振子包括靠近所述载物部固定设置的底部压电振子，固定设置于所述底部压电振子顶部的中部压电振子，和固定设置于所述中部压电振子顶部的顶部压电振子；所述底部压电振子配置为在所述激励部的驱动下朝向或远离所述载物部运动，以调节所述遮蔽部与所述载物部之间的相对位置；所述中部压电振子配置为在所述激励部的驱动下朝向或远离所述遮蔽部底部运动，以调节所述遮蔽部顶部和底部之间的距离；所述顶部压电振子配置为在所述激励部的驱动下朝向或远离所述载物部中部运动，并控制所述遮蔽部顶部所遮蔽的待处理表面的面积。
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