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龙图腾网获悉安徽国芯光刻技术有限公司申请的专利一种高精度二维运动系统的补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115599131B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211228069.0，技术领域涉及：G05D3/12；该发明授权一种高精度二维运动系统的补偿方法是由王运钢;章广飞;薛业保;李文静设计研发完成，并于2022-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精度二维运动系统的补偿方法在说明书摘要公布了：本发明涉及运动控制，具体涉及一种高精度二维运动系统的补偿方法，运动控制系统设定运动系统移动至理想坐标系内的期望坐标点，先判断期望坐标点落在理论标靶阵列LCS中的位置，再从应用补偿表中获取对应的变换矩阵MMS，利用变换矩阵MMS计算出期望坐标点在二维坐标序列MCS中的实际坐标点；运动控制系统根据实际坐标点在X轴、Y轴所处位置，分别从X轴运动偏差补偿表、Y轴运动偏差补偿表中获取相应的偏差补偿值，利用线性插值法计算出最终补偿值，并叠加至实际坐标点上生成最终坐标点；本发明提供的技术方案能够有效克服对二维运动系统运动的补偿精度较低，且补偿算法较为固定，导致设备精度指标无法满足高精度生产要求的缺陷。

本发明授权一种高精度二维运动系统的补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种高精度二维运动系统的补偿方法，其特征在于：运动控制系统设定运动系统移动至理想坐标系内的期望坐标点，先判断期望坐标点落在理论标靶阵列LCS中的位置，再从应用补偿表中获取对应的变换矩阵MMS，利用变换矩阵MMS计算出期望坐标点在二维坐标序列MCS中的实际坐标点； 运动控制系统根据实际坐标点在X轴、Y轴所处位置，分别从X轴运动偏差补偿表、Y轴运动偏差补偿表中获取相应的偏差补偿值，利用线性插值法计算出最终补偿值，并叠加至实际坐标点上生成最终坐标点； 所述应用补偿表的建立方法，包括： S21、在运动系统上方固定放置CCD相机，并在运动系统的运动平台上居中位置放置具有等间隔周期性排布的标靶阵列的标准板； S22、利用CCD相机抓取标准板上标靶阵列中各标靶的中心点在理想坐标系内的坐标，生成二维坐标序列MCS； S23、从二维坐标序列MCS中选取最接近中心交点标靶P的点作为中心基准点P0，根据运动平台中心点确定标准板上分别与X轴、Y轴平行的标靶阵列MS_X、MS_Y，标靶阵列MS_X、MS_Y的交点为中心交点标靶P，通过直线拟合求得二维坐标序列MCS过中心基准点P0的一条直线L； S24、以中心基准点P0和直线L为基准，结合标准板的理论间隔周期，生成理论标靶阵列LCS； S25、基于二维坐标序列MCS、理论标靶阵列LCS建立应用补偿表； S25中基于二维坐标序列MCS、理论标靶阵列LCS建立应用补偿表，包括： S251、将二维坐标序列MCS、理论标靶阵列LCS中的点进行一一匹配； S252、对以每四个点围成的四边形进行投影变换拟合，产生多个变换矩阵MMS； S253、将多个变换矩阵MMS与各对应的理论标靶阵列LCS进行关联，并载入运动控制系统中作为应用补偿表。

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