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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利硅基MEMS滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621688B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211248575.6，技术领域涉及：H01P1/20；该发明授权硅基MEMS滤波器是由高坤坤;周少波;王胜福;张韶华;周名齐;朱毅凡;汪晓龙;曹力元;张仕强;厉建国;尚跃港;梁毅;孙涛;于亮设计研发完成，并于2022-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅基MEMS滤波器在说明书摘要公布了：本发明提供一种硅基MEMS滤波器，包括：在第一硅基板上表面的第一区域内设有一N阶滤波器、第一U型耦合线、第二U型耦合线、输入馈线和输出馈线；N阶滤波器的一端与第一U型耦合线的一侧连接，第一U型耦合线的另一侧与输入馈线连接；N阶滤波器的另一端与第二U型耦合线的一侧连接，第二U型耦合线的另一侧与输出馈线连接；在第二硅基板的上表面的第二区域内设有第一抑制谐振杆和第二抑制谐振杆，且第一抑制谐振杆垂直位于第一U型耦合线的正上方，第二抑制谐振杆垂直位于第二U型耦合线的正上方，第一U型耦合线和第二U型耦合线的开口方向分别为第一抑制谐振杆和第二抑制谐振杆的长度方向。本发明提供的硅基MEMS滤波器具有较高的矩形系数。

本发明授权硅基MEMS滤波器在权利要求书中公布了：1.一种硅基MEMS滤波器，其特征在于，包括： 第一硅基板，在所述第一硅基板上表面的第一区域内设有一N阶滤波器、第一U型耦合线、第二U型耦合线、输入馈线和输出馈线；所述N阶滤波器包括N个谐振杆，且所述N个谐振杆之间均通过耦合线连接；所述N阶滤波器还包括一第一耦合线和一第二耦合线，所述N阶滤波器中的第一个谐振杆与所述第一耦合线连接，所述第一耦合线与所述第一U型耦合线连接，所述第一耦合线和与其连接的所述第一个谐振杆形成感性耦合，所述第一U型耦合线的另一侧与输入馈线连接；所述N阶滤波器中的最后一个谐振杆与所述第二耦合线的一端间隔设置，所述第二耦合线的另一端与所述第二U型耦合线连接，所述第二耦合线和与其间隔设置的最后一个谐振杆形成容性耦合，所述第二U型耦合线的另一侧与输出馈线连接；在所述第一硅基板上表面设有第一金属层，且所述第一金属层避开所述第一区域；所述N阶滤波器中的每个谐振杆的一端均与所述第一金属层连接； 第二硅基板，位于所述第一硅基板的上表面，在所述第二硅基板的上表面的第二区域内设有第一抑制谐振杆和第二抑制谐振杆，且所述第一抑制谐振杆垂直位于所述第一U型耦合线的正上方，所述第二抑制谐振杆垂直位于所述第二U型耦合线的正上方，所述第一U型耦合线和所述第二U型耦合线的开口方向分别为所述第一抑制谐振杆和所述第二抑制谐振杆的长度方向；在所述第二硅基板上表面上设有第二金属层，且所述第二金属层避开所述第二区域；所述第一抑制谐振杆和第二抑制谐振杆的一端均与所述第二金属层连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第十三研究所，其通讯地址为：050051 河北省石家庄市合作路113号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。