华灿光电(苏州)有限公司陈张笑雄获国家专利权
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龙图腾网获悉华灿光电(苏州)有限公司申请的专利腔盖及金属有机化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115747959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211367782.3，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权腔盖及金属有机化学气相沉积设备是由陈张笑雄;薛涛;王群设计研发完成，并于2022-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本腔盖及金属有机化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本公开提供了一种腔盖及金属有机化学气相沉积设备，属于半导体技术领域。该腔盖包括外环部、内环部和驱动部。外环部具有多个外MO源管道和多个外载体管道；内环部位于外环部内，且与外环部同心布置，内环部具有多个内MO源管道和多个内载体管道；驱动部与内环部相连，用于驱动内环部旋转。本公开能够解决MO源的浓度分布不均的问题。
本发明授权腔盖及金属有机化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种腔盖，其特征在于，包括： 外环部10，具有多个外MO源管道110和多个外载体管道120； 内环部20，位于所述外环部10内，且与所述外环部10同心布置，所述内环部20具有多个内MO源管道210和多个内载体管道220，所述内环部20包括第一内环230和第二内环240，所述第一内环230位于所述第二内环240内，且所述第一内环230与所述第二内环240同心布置，所述第一内环230的中心与所述第二内环240之间的距离为5～15cm；多个所述内MO源管道210的一端与所述第一内环230相连，多个所述内MO源管道210的另一端与所述第二内环240相连，多个所述内载体管道220的一端与所述第一内环230相连，多个所述内载体管道220的另一端与所述第二内环240相连； 驱动部30，与所述内环部20相连，用于驱动所述内环部20旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华灿光电(苏州)有限公司，其通讯地址为：215600 江苏省苏州市张家港市经济开发区晨丰公路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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