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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115586710B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211399963.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法是由付新;彭杰峰;胡亮;刘伟庭;苏芮设计研发完成，并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法。温控装置底部与被控物体接触，由PCM相变介质进行吸热控温，在被PCM相变介质四面包裹的微流道中通入冷却介质，通过协同控制算法使PCM维持在相变温度，利用相变潜热等温吸热的特性抑制脉冲热波动和隔绝低温冷却介质对环境的干扰，并在外层微流道中通入与外界环境温度相同的高精度温控水用以维持装置上表面的温度以及协同维持PCM的相变状态。本发明实现高效控温的同时抑制了发热物体的脉冲热波动以及冷却介质对环境的热干扰，有利于光刻设备内部环境温度的均一性和稳定性。

本发明授权基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置，其特征在于：包括装置盒体1、外层微流道2、PCM包裹层3、内层微流道4和多个温度传感器11、12、13、14、15；装置盒体1内部开设外层微流道2、PCM包裹层3和内层微流道4，装置盒体1内部的上部设置有外层微流道2，外层微流道2之下的PCM包裹层3和内层微流道4，同时PCM包裹层3包围在内层微流道4之外；装置盒体1、外层微流道2、PCM包裹层3和内层微流道4均布置有温度传感器11-15，装置盒体1底面接触连接于被控物体表面； 所述的外层微流道2、PCM包裹层3和内层微流道4均贯通于装置盒体1的两端设置；内层微流道4两端分别作为冷却介质入口7、冷却介质出口10，PCM包裹层3两端分别作为PCM介质注入口6、PCM介质排出口9，外层微流道2两端分别作为温控水入口5、温控水出口8，且冷却介质入口7、PCM介质注入口6和温控水入口5分别位于同一侧，冷却介质出口10、PCM介质排出口9和温控水出口8位于同一侧； 所述的冷却介质入口7处连接设有用于电协同控制冷却介质流量的电磁流量阀；所述PCM包裹层3为回字形中空流道，两端分别与PCM介质注入口6和PCM介质排出口9连通，所述的PCM介质注入口6处和PCM介质排出口9处设有用于控制注入或排出PCM介质的开关阀。

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