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龙图腾网获悉成都尚明工业有限公司申请的专利一种晶圆烘干设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115854685B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211466256.2，技术领域涉及：F26B11/18；该发明授权一种晶圆烘干设备及方法是由刘明华;邹学彬设计研发完成，并于2022-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆烘干设备及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆烘干设备及方法，涉及半导体生产技术领域，该设备包括罩体；底板，活动设置在罩体的下方；加热件，设置在罩体的内壁上；旋转机构，包括变频电机和转轴，转轴的中部与底板转动连接；支撑件，一端固定于转轴；装夹机构用于固定晶圆。该方法包括：将待烘干晶圆固定在支撑件上；被固定在支撑件上的待烘干晶圆移动至罩体内；启动除尘器、排风机和变频电机并保持预定的时长；在烘干待烘干晶圆表面和擦渍板上残留的水后，下移底板和支撑件，使支撑件上的被烘干晶圆移动至罩体外；擦去被烘干晶圆表面上的水渍；将被烘干晶圆放置于指定位置。本发明实施例通过机械和热辐射两种方式的共同作用，能够有效提高去除晶圆表面的水的效率。

本发明授权一种晶圆烘干设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘干设备，其特征在于，包括： 罩体，固定设置且下部开口，所述罩体具有相互连通的进气口和出气口； 底板，活动设置在所述罩体的下方，并能够封堵所述罩体的下部开口； 加热件，设置在所述罩体的内壁上； 旋转机构，包括变频电机和转轴，所述转轴的中部与所述底板转动连接； 支撑件，一端固定于所述转轴、另一端沿所述转轴的径向延伸；所述底板和所述支撑件能够同步地纵向移动； 装夹机构，包括弧形板和限位柱；所述弧形板固定于所述支撑件，所述弧形板的内侧分布有多个限位凸起，所述限位凸起上开设有与晶圆边缘匹配的卡槽，在多个所述限位凸起的共同配合下，晶圆只能沿靠近所述转轴的方向移动；所述限位柱纵向地滑动连接在所述支撑件上，所述限位柱能够在复位弹簧的作用下上移并抵接在晶圆的圆周上，以限制晶圆沿靠近所述转轴的方向的移动； 升降机构，用于纵向移动所述底板和支撑件，以使晶圆能够进出所述罩体； 所述支撑件上开设有缺口，所述缺口的侧壁上固定有导向块，所述限位柱上开设有与所述导向块匹配的导向槽，所述复位弹簧安装在所述导向槽内； 所述支撑件的上部相对的两侧通过连接轴分别连接有一转动杆，所述转动杆上固定有擦渍板，所述擦渍板的一侧能够与晶圆的表面相接触； 所述连接轴与限位柱传动连接，所述限位柱纵向移动时，所述连接轴能够顺时针或逆时针转动； 所述支撑件上固定有齿板，所述限位柱内具有第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿轮的一侧与所述齿板啮合、另一侧与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮固定在所述连接轴的中部； 所述限位柱上固定有第一挡块和第二挡块，所述第一挡块用于限制所述连接轴沿顺时针方向的旋转，所述第二挡块用于限制所述连接轴沿逆时针方向的旋转，所述第一挡块和所述第二挡块在竖直平面上的投影之间的夹角为90度。

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