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龙图腾网获悉佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请的专利真空镀膜设备及其镀膜控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117821924B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311873456.4，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权真空镀膜设备及其镀膜控制方法是由裴宇辉;刘伟基;冀鸣;郭一鸣;秦振江;易洪波;赵刚设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空镀膜设备及其镀膜控制方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜控制方法，所述设备包括：真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源；光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统；控制系统，用于控制产品转盘、溅射系统以及离子源的运行，采集光谱检测装置检测的光谱能量数据并计算镀膜产品的实时透射率，在膜层厚度接近目标厚度时，基于实时透射率预测出已镀膜的实际厚度；依据实际厚度计算换层判停时间并输出换层判停指令进行换层操作，直至完成所有膜层的镀膜；该技术方案，极大提升了换层判停精度，特别是层数较多的镀膜中，避免了镀膜层数增加所带来的误差累积，提升了镀膜产品的膜层质量。

本发明授权真空镀膜设备及其镀膜控制方法在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括： 真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源，其中，所述产品转盘用于安装镀膜产品，所述溅射系统安装靶材并溅射镀膜材料，所述离子源用于辅助薄膜沉积； 光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测所述镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统； 控制系统，包括：上位机、运动控制板以及光学控制板； 所述上位机用于控制产品转盘、溅射系统以及离子源的运行；以及接收光学控制板上报的光谱能量数据，计算镀膜产品的实时透射率并拟合出镀膜产品的透射率曲线；接收光学控制板上报的换层判停时间并根据换层判停时间输出换层判停指令进行换层操作，直至完成所有膜层的镀膜； 所述运动控制板用于接收上位机下发的控制指令来控制产品转盘旋转，以及触发光谱检测装置检测光谱能量数据； 所述光学控制板用于采集所述光谱检测装置检测的光谱能量数据并上传上位机；实时计算当前时刻已镀膜的估计厚度，在估计厚度接近目标厚度时，从上位机获取透射率曲线并实时对所述估计厚度进行修正预测出已镀膜的实际厚度；依据所述实际厚度计算所述换层判停时间；其中，当所述估计厚度达到目标厚度的设定比例时估计厚度接近目标厚度。

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