中国矿业大学(北京)程洁获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国矿业大学(北京)申请的专利一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118791973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410792194.7，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法是由程洁;苗钦华;葛世荣;邓久帅;任小勇设计研发完成，并于2024-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法，所述化学机械抛光液由1‑10wt.％的磨料、0.5‑5wt.％的氧化剂、10‑150mmolL的络合剂、pH调节剂以及余量的水组成，所述络合剂为柠檬酸或柠檬酸盐。本发明的化学机械抛光液选用合适的氧化剂、络合剂种类和浓度配比，在抛光液中化学物质的化学反应和磨粒的机械磨损协同作用下，提高金属钛的材料去除速率，并获得优质光滑的表面在钴互连阻挡层钛的CMP工艺中具有广阔的应用前景。
本发明授权一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液，其特征在于，由5wt.%的磨料、3wt.%的过氧化氢、100mmolL的络合剂、pH调节剂以及余量的水组成，所述络合剂为柠檬酸钾，所述磨料为胶体二氧化硅，所述胶体二氧化硅的颗粒粒径为20-100nm，所述化学机械抛光液的pH为8。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国矿业大学(北京)，其通讯地址为：100000 北京市海淀区学院路丁11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号