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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种多晶圆自动化连续清洗设备及其清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118800690B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411031561.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种多晶圆自动化连续清洗设备及其清洗方法是由王刚;赵航;邵毅设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多晶圆自动化连续清洗设备及其清洗方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多晶圆自动化连续清洗设备及其清洗方法，涉及晶圆清洗技术领域，包括基座，基座上设有工作平台，基座内设有电机，电机的输出端连接有旋转轴，旋转轴设有清洗盘，工作平台设有立架，立架顶部设有驱动平台，驱动平台下端滑动设有升降平台，工作平台设有支撑架，支撑架设有位于清洗盘上方的固定环，固定环通过埋设在清洗盘内的密闭环与其滑动相连，固定环一侧设有缺口，缺口滑动设有升降门，清洗盘设有圆周阵列的多根下刷条，驱动平台上设有安装架，安装架设有上刷条。本发明结构简单，可同时对多个晶圆进行清洗，对晶圆投放到清洗处的要求低，清洗完毕后便于将晶圆取出，自动化程度高，且适用于不同厚度、大小的晶圆，适合推广。

本发明授权一种多晶圆自动化连续清洗设备及其清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种多晶圆自动化连续清洗设备，包括基座（1），其特征在于，所述基座（1）上固定设有工作平台（2），所述工作平台（2）中部固定设有套筒（5），所述基座（1）内固定设有电机（22），所述电机（22）的输出端连接有旋转轴（23），所述旋转轴（23）贯穿套筒（5）并在顶部固定设有清洗盘（6），所述套筒（5）支撑在清洗盘（6）底部并与其滑动相连； 所述工作平台（2）后端固定设有立架（3），所述立架（3）顶部固定设有驱动平台（4），所述驱动平台（4）下端滑动设有升降平台（11），所述立架（3）朝向升降平台（11）一侧设有升降轨（12），所述升降平台（11）通过支架与升降轨（12）滑动相连，所述升降平台（11）内设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端位于升降轨（12）内并与升降平台（11）的支架固定相连； 所述工作平台（2）位于清洗盘（6）一侧固定设有向上延伸的支撑架（8），所述支撑架（8）顶端固定设有位于清洗盘（6）上方的固定环（7），所述固定环（7）下端固定设有密闭环（24），所述密闭环（24）埋设在清洗盘（6）边缘处并与其滑动相连； 所述固定环（7）一侧设有缺口（29），所述缺口（29）的两侧固定设有侧边轨道（18），所述侧边轨道（18）上滑动设有升降门（20），所述侧边轨道（18）向上延伸出固定环（7）并固定设有安装板（19），所述安装板（19）上固定设有电动伸缩杆（17），所述电动伸缩杆（17）的输出端向下并通过连接架（21）与升降门（20）的上端固定相连； 所述清洗盘（6）上表面位于固定环（7）的内围设有圆周阵列的多根下刷条（9），所述下刷条（9）延伸至固定环（7）处； 所述驱动平台（4）上连接有输液管（10），所述升降平台（11）朝向清洗盘（6）一侧固定设有喷头（25），所述输液管（10）与喷头（25）相连通，所述升降平台（11）位于两排喷头（25）中部固定设有延伸架（26），所述延伸架（26）下端固定设有安装架（13），所述安装架（13）下方固定设有上刷条（27）。

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