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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种基于传输设备移动清洗的晶圆清洗系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118782501B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411031560.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种基于传输设备移动清洗的晶圆清洗系统是由王刚;邵毅;左鹏设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于传输设备移动清洗的晶圆清洗系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于传输设备移动清洗的晶圆清洗系统，具体涉及晶圆清洗技术领域，包括清洗罩，清洗罩内设置有传输盘，传输盘上设置有多个滚动支撑件，每个滚动支撑件包括转动连接在传输盘一侧的一对滚动辊，且一对滚动辊用于置放晶圆，传输盘两侧均固定连接有中空转轴，传输盘通过中空转轴转动连接在清洗罩上，清洗罩上设置有用于驱动传输盘转动的旋转装置一；上述一种基于传输设备移动清洗的晶圆清洗系统还包括旋转驱动机构、滚动支撑结构、晶圆喷淋系统、托板和刷块清洗系统。本发明解决了晶圆上下料清洗的过程存在清洁低效率和不便的问题以及晶圆清洗件上污物容易影响晶圆的清洗质量。

本发明授权一种基于传输设备移动清洗的晶圆清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种基于传输设备移动清洗的晶圆清洗系统，包括清洗罩（1），所述清洗罩（1）内设置有传输盘（2），所述传输盘（2）上设置有多个滚动支撑件（4），其特征在于：每个滚动支撑件（4）包括转动连接在所述传输盘（2）一侧的一对滚动辊，且一对滚动辊用于置放晶圆，所述传输盘（2）两侧均固定连接有中空转轴（3），所述传输盘（2）通过中空转轴（3）转动连接在所述清洗罩（1）上，所述清洗罩（1）上设置有用于驱动所述传输盘（2）转动的旋转装置一（23）； 旋转驱动机构（5），所述旋转驱动机构（5）设置在所述传输盘（2）上，所述旋转驱动机构（5）用于驱动每个滚动支撑件（4）中的其中一个滚动辊转动； 滚动支撑结构（6），所述滚动支撑结构（6）包括保持外架（61）、保持内架（62）、一对固定板（63）和一对从动辊一（64），所述保持外架（61）固定架设在所述清洗罩（1）内，所述保持内架（62）设置在所述保持外架（61）的内侧，一对固定板（63）固定连接在所述保持外架（61）和所述保持内架（62）上，所述从动辊一（64）转动连接在所述固定板（63）上，一对从动辊一（64）上传动连接有柔性传输带（7），且柔性传输带（7）滑动连接在所述保持外架（61）和所述保持内架（62）上，所述柔性传输带（7）与晶圆活动连接； 晶圆喷淋系统（9），所述晶圆喷淋系统（9）的数量为一对，且设置在所述清洗罩（1）内，所述晶圆喷淋系统（9）用于向晶圆两面喷淋清洗液； 托板（10），所述托板（10）的数量为一对，且托板（10）固定连接在所述清洗罩（1）的内壁上，所述托板（10）上滑动连接有旋转装置二（11），所述旋转装置二（11）的输出端固定连接有柔性刷块（12），所述清洗罩（1）上固定连接有用于所述旋转装置二（11）伸缩的伸缩装置（13），所述柔性刷块（12）的外侧设置有一对挡板（14），所述挡板（14）和所述旋转装置二（11）上设置有开闭驱动组件（15）；以及 刷块清洗系统（16），所述刷块清洗系统（16）设置在所述传输盘（2）上，所述刷块清洗系统（16）用于向所述柔性刷块（12）上喷淋清洗水。

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