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安徽工业大学童宝宏获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽工业大学申请的专利曝光机中光学镜组温度和热变形测量用试验装置及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118938607B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411037081.2,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权曝光机中光学镜组温度和热变形测量用试验装置及测量方法是由童宝宏;董乐;沈杰;郑蕊;邓书朝;刘磊;胡兴涛设计研发完成,并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

曝光机中光学镜组温度和热变形测量用试验装置及测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了曝光机中光学镜组温度和热变形测量用试验装置,它包括测量台、光学组件、控制传感组件;光学组件包括伺服电机、镜组安装板、光学镜组、龙门支架、对准相机;控制传感组件包括应变传感贴片、主控机、工控机、半导体激光器、静态应变系统、温度数据系统、上位机、温度传感贴片;测量台前台面上装有温度数据系统、静态应变系统,温度传感贴片贴在光学镜组的套筒上、其通过导线与温度数据系统连接,应变传感贴片贴在光学镜组的套筒上、其通过导线与静态应变系统连接。本发明可以实时获得在不同激光功率工况下的光学镜组的温度和热变形的最准确的数据,并进行收集分析。

本发明授权曝光机中光学镜组温度和热变形测量用试验装置及测量方法在权利要求书中公布了:1.曝光机中光学镜组温度和热变形测量用试验装置,其特征是:它包括测量台303、光学组件、控制传感组件;光学组件包括伺服电机103、镜组安装板104、光学镜组101、龙门支架105、对准相机106;控制传感组件包括应变传感贴片204、主控机302、工控机402、半导体激光器401、静态应变系统203、温度数据系统202、上位机301、温度传感贴片201;龙门支架105固定在测量台303后台面的上面,伺服电机103固定在龙门支架105的上面,镜组安装板104固定在伺服电机103滑块的上面,光学镜组101和对准相机106均安装在镜组安装板104的前面;测量台303前台面上装有温度数据系统202、静态应变系统203,温度传感贴片201贴在光学镜组101的套筒上、其通过导线与温度数据系统202连接,应变传感贴片204贴在光学镜组101的套筒上、其通过导线与静态应变系统203连接;测量台303的下部支撑部内设置有半导体激光器401、工控机402、主控机302;工控机402通过控制线连接半导体激光器401;上位机301固定在测量台303后台面的上面;主控机302、上位机301均与静态应变系统203和温度数据系统202连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽工业大学,其通讯地址为:243002 安徽省马鞍山市花山区湖东路59号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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