河南东微电子装备有限公司李心然获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉河南东微电子装备有限公司申请的专利一种铂靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118932301B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411041544.2，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种铂靶材的制备方法是由李心然;王永超;赵泽良;王伟涛设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铂靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种铂靶材的制备方法。包括以下步骤：步骤1，取铂粉原料放入包套内，抽真空后焊封；步骤2，将步骤1的焊封后的包套进行热等静压烧结处理；步骤3，将步骤2处理后的包套进行锻压处理，然后第一次退火处理；步骤4，将第一次退火处理的铂材去包套后，进行轧制处理、然后第二次退火处理；步骤5，第二次退火处理后，加工成铂靶材。该制备方法，通过粉末冶金方式，抽真空处理，后进行热等静压烧结处理，有效降低成型温度，节约了能耗；同时通过包套包裹铂靶材进行锻压，能避免裂纹和氧化问题，减少铂材浪费，节约原材料；锻压后通过轧制处理，很好地控制晶粒尺寸，提高了致密度，整个制备过程成本低，易于操作。
本发明授权一种铂靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种铂靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1，取铂粉原料放入包套内，抽真空后焊封； 步骤2，将步骤1的焊封后的包套进行热等静压烧结处理； 步骤3，将步骤2处理后的包套进行锻压处理，然后第一次退火处理； 步骤4，将第一次退火处理的铂材去包套后，进行轧制处理、然后第二次退火处理； 步骤5，第二次退火处理后，加工成铂靶材； 步骤2中热等静压烧结处理，温度为1050～1250℃，压力140～200MPa，保温60～180min； 所得铂靶材平均晶粒度100μm以下。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人河南东微电子装备有限公司，其通讯地址为：450000 河南省郑州市河南自贸试验区郑州片区(郑东)中州大道与三全路交叉口龙源嘉苑西苑G2号楼三层308号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号