淮安捷泰新能源科技有限公司段金发获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉淮安捷泰新能源科技有限公司申请的专利一种基于LPCVD技术的反应炉硅烷进气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292636U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422116400.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种基于LPCVD技术的反应炉硅烷进气装置是由段金发设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于LPCVD技术的反应炉硅烷进气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于LPCVD技术的反应炉硅烷进气装置，属于半导体技术领域，包括反应炉管和靠近反应炉管内壁设置的若干进气管，进气管一端设为闭合端另一端固定连接有连接件，进气管靠近连接件的一端设有变径连杆，变径连杆背离连接件一端的内径大于进气管道的内径，进气管与反应炉管内壁相邻的两侧开设有若干排气孔，排气孔上安装有喷淋管，喷淋管上开设有若干用于弥散硅烷气体的出气孔，出气孔的孔径沿进气管开口端至闭合端的方向递增。通过变径连杆的设置使得硅烷气体进入进气管时的流速变大，变径连杆的连接使硅烷气体能够快速的到达进气管的闭口端，从而使得反应炉管内弥散出的硅烷气体能够更为均匀。
本实用新型一种基于LPCVD技术的反应炉硅烷进气装置在权利要求书中公布了：1.一种基于LPCVD技术的反应炉硅烷进气装置，其特征在于，包括反应炉管1和靠近所述反应炉管1内壁设置的若干进气管2，所述进气管2一端设为闭合端另一端固定连接有连接件3，所述进气管2靠近所述连接件3的一端设有变径连杆4，所述变径连杆4背离所述连接件3一端的内径大于所述进气管2道的内径，所述进气管2与所述反应炉管1内壁相邻的两侧开设有若干排气孔5，所述排气孔5上安装有喷淋管6，所述喷淋管6上开设有若干用于弥散硅烷气体的出气孔7，所述出气孔7的孔径沿所述进气管2开口端至闭合端的方向递增。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人淮安捷泰新能源科技有限公司，其通讯地址为：223400 江苏省淮安市涟水县经济开发区迎宾大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励