深圳市大族数控科技股份有限公司文华获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大族数控科技股份有限公司申请的专利基板加工设备及基板加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223297781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422190703.7，技术领域涉及：H05K3/00；该实用新型基板加工设备及基板加工系统是由文华;张波;唐旭伟;张孝维;何国合;杨朝辉设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板加工设备及基板加工系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基板加工设备及基板加工系统，涉及基板加工设备领域，其中，基板加工设备包括气静压电主轴；气静压电主轴，用于在加工过程中以设定的振幅与频率驱动高速旋转的加工刀具在第一方向振动，使加工刀具与基板之间形成周期性接触与分离，以实现对基板的加工。本实施例中，通过气静压电主轴以设定的振幅与频率驱动高速旋转的加工刀具在第一方向振动，使加工刀具与基板形成周期性接触与分离，减小了加工刀具所受的轴向力和扭矩、降低了加工刀具与切屑的摩擦因数，不仅提高了加工精度和效率，还促进了切削碎屑的及时排出，减少了加工刀具磨损，并延长了使用寿命。
本实用新型基板加工设备及基板加工系统在权利要求书中公布了：1.一种基板加工设备，其特征在于，包括气静压电主轴； 所述气静压电主轴，所述气静压电主轴包括气静压超声波电主轴； 所述气静压超声波电主轴包括利用空气动力学原理，使设置在电主轴内部的旋转轴芯在气旋浮状态下实现预设方向振动和旋转的电主轴，所述气静压超声波电主轴与加工刀具连接，用于在加工过程中以设定的振幅与频率驱动高速旋转的所述加工刀具在第一方向振动，使所述加工刀具与基板之间形成周期性接触与分离，以实现对所述基板的加工。
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