无锡卓海科技股份有限公司耿晓杨获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利半导体工艺设备及其晶圆传输状态监测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296772U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422266454.5，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型半导体工艺设备及其晶圆传输状态监测系统是由耿晓杨;相宇阳;王文超设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其晶圆传输状态监测系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种半导体工艺设备及其晶圆传输状态监测系统，半导体工艺设备包括机械臂、至少一个晶圆盒承载台和至少一个工作腔，晶圆盒承载台用于承载晶圆盒，机械臂用于将晶圆盒中的晶圆传送至所述工作腔；晶圆传输状态监测系统，包括：第一传感单元、第二传感单元、控制模块和指示灯；第一传感单元、控制模块和指示灯设置于晶圆盒承载台上；第二传感单元设置于工作腔外；控制模块分别与指示灯、第一传感单元和第二传感单元连接；控制模块设置为根据第一传感单元和第二传感单元输出的信号，确定晶圆传输状态，并根据晶圆传输状态，控制指示灯的状态。本实用新型的技术方案，能够降低操作人员的误操作风险，从而减少半导体工艺设备报警。
本实用新型半导体工艺设备及其晶圆传输状态监测系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的晶圆传输状态监测系统，其特征在于，所述半导体工艺设备包括机械臂、至少一个晶圆盒承载台和至少一个工作腔，所述晶圆盒承载台用于承载晶圆盒，所述机械臂用于将所述晶圆盒中的晶圆传送至所述工作腔；所述晶圆传输状态监测系统，包括：第一传感单元、第二传感单元、控制模块和指示灯； 所述第一传感单元、所述控制模块和所述指示灯设置于所述晶圆盒承载台上； 所述第二传感单元设置于所述工作腔外； 所述控制模块分别与所述指示灯、所述第一传感单元和所述第二传感单元连接；所述控制模块设置为根据所述第一传感单元和所述第二传感单元输出的信号，确定晶圆传输状态，并根据所述晶圆传输状态，控制所述指示灯的状态。
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