广东长信精密设备有限公司张庆获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种晶圆扫码的支撑装置及其扫码系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223296376U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422410464.1,技术领域涉及:G06K7/10;该实用新型一种晶圆扫码的支撑装置及其扫码系统是由张庆;蔡志仁;罗家伟;吴伟平设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆扫码的支撑装置及其扫码系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆片扫码技术领域,公开了一种晶圆扫码的支撑装置,包括固定单元、晶圆支撑盘;晶圆支撑盘上设有圆周阵列布置的多个晶圆支撑件,晶圆支撑件用于支撑晶圆的边缘,以使晶圆的中部悬空;晶圆支撑盘的底部设有晶圆露出区域和晶圆遮挡区域;固定单元上设有至少三个晶圆支撑部;且相邻晶圆支撑部之间设有供晶圆支撑盘穿过的间隙,同时,本实用新型还提供了具有该支撑装置的晶圆扫码系统,通过晶圆支撑件来支撑晶圆,避免晶圆支撑盘和晶圆底部接触,当晶圆的编码部分或全部位于晶圆遮挡区域时,晶圆支撑盘通过升降单元和旋转单元驱动以改变晶圆露出区域与晶圆的相对位置,使晶圆编码位于晶圆露出区域中,防止晶圆编码被遮挡而无法识别。
本实用新型一种晶圆扫码的支撑装置及其扫码系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆扫码的支撑装置,其特征在于,包括固定单元、晶圆支撑盘; 所述晶圆支撑盘上设有圆周阵列布置的多个晶圆支撑件,所述晶圆支撑件用于支撑所述晶圆的边缘,以使所述晶圆的中部悬空; 所述晶圆支撑盘的底部设有晶圆露出区域和晶圆遮挡区域; 所述固定单元上设有至少三个晶圆支撑部;且相邻晶圆支撑部之间设有供所述晶圆支撑盘穿过的间隙; 当所述晶圆的编码部分或全部位于晶圆遮挡区域时,所述晶圆支撑盘通过一升降单元驱动下行,将晶圆搁置在晶圆支撑部上,并通过一旋转单元驱动转动预设角度,以改变晶圆露出区域与晶圆的相对位置,以使所述编码位于晶圆露出区域中。
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