山东誉正自动化科技有限公司周树彪获国家专利权
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龙图腾网获悉山东誉正自动化科技有限公司申请的专利一种用在固晶机上的wafer自动定位检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223296773U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422462872.1,技术领域涉及:H01L21/66;该实用新型一种用在固晶机上的wafer自动定位检测装置是由周树彪设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用在固晶机上的wafer自动定位检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉固晶机装置领域,尤其涉及一种用在固晶机上的wafer自动定位检测装置,包括底板,所述底板上表面安装有若干支撑条,所述支撑条用于wafer的导向和限位,若干所述支撑条上表面安装有限位板,wafer配置在所述底板和所述限位板之间;所述底板的右侧安装有到位检测组件,所述到位检测组件用于检测wafer是否推入到位,并将信号传输至驱动组件,所述驱动组件安装在所述底板的左侧;所述驱动组件包括电机和驱动块,所述电机能够驱动所述驱动块转动,进而推动wafer到位。本实用新型通过到位检测组件和驱动组件相配合,将操作人员没有推送到位的wafer进行检测,并主动推送到位,避免wafer扩片过程中对芯片的损坏,有效降低了产品的报废率。
本实用新型一种用在固晶机上的wafer自动定位检测装置在权利要求书中公布了:1.一种用在固晶机上的wafer自动定位检测装置,其特征在于,包括底板(101),所述底板(101)上表面安装有若干支撑条(102),所述支撑条(102)用于wafer的导向和限位,若干所述支撑条(102)上表面安装有限位板(103),wafer配置在所述底板(101)和所述限位板(103)之间; 所述底板(101)的右侧安装有到位检测组件(300),所述到位检测组件(300)用于检测wafer是否推入到位,并将信号传输至驱动组件(200),所述驱动组件(200)安装在所述底板(101)的左侧; 所述驱动组件(200)包括电机(201)和驱动块(204),所述电机(201)与所述底板(101)固定,所述电机(201)的输出轴与所述驱动块(204)驱动连接,所述驱动块(204)能够与wafer侧面搭接,所述电机(201)能够驱动所述驱动块(204)转动,进而推动wafer到位。
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