烟台万华电子材料有限公司陈刚军获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台万华电子材料有限公司申请的专利一种用于硅烷类气体分析的进样与尾气处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223295937U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422471459.1，技术领域涉及：G01N30/16；该实用新型一种用于硅烷类气体分析的进样与尾气处理系统是由陈刚军;杜泽诚;韩雪;闫晓军;陈政林设计研发完成，并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于硅烷类气体分析的进样与尾气处理系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅烷类气体分析技术领域，提供一种用于硅烷类气体分析的进样与尾气处理系统，采用该系统对硅烷类气体进行进样，有助于改善检测的重复性和精确性。所述系统包括六通阀和吹扫气输入管，还包括分别与所述六通阀连接的样品气进气管、载气进气管、定量环和尾气输出管；所述系统还包括尾气吸收罐；所述尾气输出管包括上游管段和下游管段，吹扫气输入管通过尾气输出管的下游管段与尾气吸收罐连通；样品气进气管上设有调压阀和压力传感器，调压阀和压力传感器分别与压力控制器通信连接；载气进气管上设有载气减压阀和用于调节所述载气进气管内的载气流量的流量控制器；所述尾气输出管的所述上游管段设有流量计和单向阀。
本实用新型一种用于硅烷类气体分析的进样与尾气处理系统在权利要求书中公布了：1.一种用于硅烷类气体分析的进样与尾气处理系统，包括六通阀和吹扫气输入管，还包括分别与所述六通阀连接的样品气进气管、载气进气管、定量环和尾气输出管；其特征在于，所述系统还包括尾气吸收罐； 所述尾气输出管沿着气流方向包括相互连通的上游管段和下游管段，所述吹扫气输入管通过所述尾气输出管的下游管段与所述尾气吸收罐连通； 所述样品气进气管上设有调压阀和压力传感器，所述调压阀和所述压力传感器分别与压力控制器通信连接； 所述载气进气管上设有载气减压阀和用于调节所述载气进气管内的载气流量的流量控制器； 所述尾气输出管的所述上游管段设有流量计和单向阀。
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